Pat

J-GLOBAL ID：201403058521235504

熱型赤外線検出器

Clips

Inventor： 尾島 史一 ,  鈴木 順 ,  北浦 隆介
Applicant, Patent owner： 浜松ホトニクス株式会社
Agent (4)： 長谷川 芳樹 ,  黒木 義樹 ,  石田 悟 ,  寺澤 正太郎
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2012056010
Publication number (International publication number)：2012123018
Patent number：5456810
Application date： Mar. 13, 2012
Publication date： Jun. 28, 2012
Claim (excerpt)：

【請求項1】 赤外線吸収体と、 前記赤外線吸収体からの熱を電気的な量に変換する熱電変換部と を備え、 前記赤外線吸収体が、 TiNを含む第1の層と、 SiCを含み前記第1の層上に積層された第2の層と を有し、 前記赤外線吸収体が、前記熱電変換部上に積層され、前記熱電変換部と共にメンブレン構造を構成しており、 前記第2の層側から入射する赤外線のエネルギを熱に変換することを特徴とする、熱型赤外線検出器。

IPC (2)：

G01J 1/02 ( 200 6.01) ,  H01L 37/02 ( 200 6.01)

FI (2)：

G01J 1/02 C ,  H01L 37/02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 赤外線センサ素子
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-132559   Applicant：三菱電機株式会社
• 赤外線吸収膜と赤外線検知センサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2005-244299   Applicant：株式会社豊田中央研究所
• 赤外線吸収体および熱型赤外線検出器
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2006-016733   Applicant：浜松ホトニクス株式会社