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J-GLOBAL ID：201403075476945564

ビーム量測定機能に優れたイオンビーム分析装置

Inventor：
安田 啓介

About 安田 啓介


Applicant, Patent owner：
公益財団法人若狭湾エネルギー研究センター

About 公益財団法人若狭湾エネルギー研究センター


Agent (1)： 戸川 公二
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2009047165
Publication number (International publication number)：2010203805
Patent number：5489032
Application date： Feb. 27, 2009
Publication date： Sep. 16, 2010
Claim (excerpt)：
【請求項1】 イオンビーム(B)を出射可能なビーム出射装置(1)と;前記出射されたイオンビーム(B)を真空雰囲気下で試料(S)直近まで導入するビーム導入部(2)と;ビーム透過性およびX線透過性を有する薄膜(31)とそれを取り囲むX線遮断性を有する枠部(32)とから成り、前記ビーム導入部(2)の終端部に配設されて前記薄膜(31)を通してイオンビーム(B)を大気雰囲気下に取り出せるビーム取出窓(3)と;大気雰囲気側に設けられて、前記ビーム取出窓(3)から取り出したイオンビーム(B)の照射位置に試料(S)を固定するための試料固定部(4)と;前記ビーム導入部(2)の終端部に設けられたX線測定室(22)内に検知部(51)が配置され、イオンビーム(B)が照射されたときに試料(S)から放出されるX線を検出するX線検出器(5)と;同じく前記ビーム導入部(2)のX線測定室(22)内に検知部(71)が配置され、イオンビーム(B)がビーム取出窓(3)を通過するときに薄膜(31)から放出されるX線を検出してその強度を測定できるX線強度測定器(7)とを含んで構成され、 前記ビーム出射装置(1)とビーム取出窓(3)とを、イオンビーム(B)が薄膜(31)の枠近傍位置を通過するように配設すると共に、前記X線強度測定器(7)の検知部(71)を、前記薄膜(31)のビーム通過点近傍の枠部(32)外側に配置することによって、イオンビーム(B)の照射により試料(S)から放出されるX線を前記枠部(32)で遮断しつつ薄膜(31)からのX線だけを検出して、そのX線強度からビーム量を測定可能としたことを特徴とするビーム量測定機能に優れたイオンビーム分析装置。
IPC (1)：
G01N 23/225 ( 200 6.01)
FI (1)：
G01N 23/225
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
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