半導体マイクロ分析チップ及びその製造方法

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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：特許業務法人スズエ国際特許事務所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2013167649
Publication number (International publication number)：2015036631
Application date： Aug. 12, 2013
Publication date： Feb. 23, 2015
Summary：

【課題】検体液中の微粒子を高感度に検出でき、小型且つ大量生産可能で低コスト化を容易にする。【解決手段】検体液中の微粒子を検出する半導体マイクロ分析チップであって、半導体基板10と、半導体基板10に設けられ、検体液を流入可能な第1の流路21と、半導体基板10の第1の流路21とは異なった配置に設けられ、検体液又は電解液を流入可能な第2の流路22と、第1の流路21の一部と第2の流路22の一部とが隔壁を挟んで隣接又は交差する接触部と、隔壁に設けられ微粒子が通過可能な微細孔30と、を具備した。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

検体液中の微粒子を検出する半導体マイクロ分析チップであって、半導体基板と、前記半導体基板に設けられ、前記検体液を流入可能で、一端側に前記検体液の排出領域を有する第1の流路と、前記半導体基板の前記第1の流路とは異なった配置に設けられ、前記検体液又は電解液を流入可能で、一端側に前記検体液又は電解液の排出領域を有する第2の流路と、前記第1の流路の一部と前記第2の流路の一部とが隔壁を挟んで隣接又は交差する接触部と、前記隔壁に設けられ前記微粒子が通過可能な微細孔と、前記第1の流路の前記排出領域上に設けられ、前記検体液を吸収する第1の吸収材と、前記第2の流路の前記排出領域上に設けられ、前記検体液又は電解液を吸収する第2の吸収材と、前記第1の流路内に少なくとも一部が露出してなる第1の電極と、前記第2の流路内に少なくとも一部が露出してなり、前記微細孔を挟んで前記第1の電極と対向配置された第2の電極と、を具備し、前記第1の流路の底面と前記第2の流路の底面が同一面上に形成され、前記第1の流路の上面と前記第2の流路の上面が異なる高さに形成され、前記接触部における前記隔壁の少なくとも一部が前記第1の流路の上面で且つ前記第2の流路の底面となっていることを特徴とする半導体マイクロ分析チップ。

IPC (5)：

G01N 15/12 , G01N 27/00 , G01N 37/00 , G01N 33/483 , B03B 5/00

FI (6)：

G01N15/12 A , G01N27/00 Z , G01N37/00 101 , G01N33/483 F , G01N15/12 B , B03B5/00 Z

F-Term (22)：

2G045CB21 , 2G045FB05 , 2G045GC20 , 2G045JA08 , 2G060AA06 , 2G060AA15 , 2G060AD06 , 2G060AE17 , 2G060AF01 , 2G060AG06 , 2G060AG08 , 2G060AG10 , 2G060FA01 , 2G060FA10 , 2G060FA14 , 2G060FB02 , 4D071AA01 , 4D071AB62 , 4D071AB63 , 4D071BA03 , 4D071BA13 , 4D071DA20

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

細胞分析用カートリッジ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2010-186258 Applicant：株式会社堀場製作所
マイクロ流体センサの製造方法
Gazette classification：公表公報 Application number：特願2011-503986 Applicant：イーアイ・スペクトラ・エルエルシー
ナノポア式分析装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2011-173567 Applicant：株式会社日立ハイテクノロジーズ

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