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J-GLOBAL ID:201703012087590514

プラズマ生成装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 平井 安雄
Gazette classification:特許公報
Application number (International application number):2013543061
Patent number:6083093
Application date: Nov. 12, 2012
Claim (excerpt):
【請求項1】 複数の電極を対向してなるプラズマ生成装置において、 前記複数の各電極間に配設され、温度の上昇に伴って誘電率が減少する特性を有するとともに分極性を有する液体の流体からなる逆特性物質を、誘電体で形成される容器に収納して形成される放電位置制御手段を備え、 前記逆特性物質が、前記複数の各電極に対して離隔されることを 特徴とするプラズマ生成装置。
IPC (1):
H05H 1/24 ( 200 6.01)
FI (1):
H05H 1/24
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
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