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J-GLOBAL ID:200903062697333143 プラズマ発生アセンブリ
Inventor:
,
Applicant, Patent owner: Agent (5):
曾我 道照
, 曾我 道治
, 古川 秀利
, 鈴木 憲七
, 梶並 順
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):2005518665
Publication number (International publication number):2006515708
Application date: Jan. 28, 2004
Publication date: Jun. 01, 2006
Summary:
少なくとも一対の実質的に等間隔に離隔した電極(2)を備え、該電極(2)間の間隔はプロセスガスの導入時にプラズマゾーン(8)を形成するようになっており、必要に応じて、気体、液体及び/または固体前駆物質が通過できる大気圧プラズマアセンブリ(1)において、前記少なくとも一対の電極(2)は内壁(5)及び外壁(6)を有するハウジング(20)を備え、前記内壁(5)は非多孔性の誘電体材料から形成され、前記ハウジング(20)は実質的に、少なくとも実質的に非金属性導電性材料を有することを特徴とする。
Claim (excerpt):
少なくとも一対の実質的に等間隔に離隔した電極(2)を備え、該電極(2)間の間隔はプロセスガスの導入時にプラズマゾーン(8)を形成するようになっており、必要に応じて、気体、液体及び/または固体前駆物質が通過できる大気圧プラズマアセンブリ(1)において、
前記少なくとも一対の電極(2)は内壁(5)及び外壁(6)を有するハウジング(20)を備え、前記内壁(5、6)は非多孔性の誘電体材料から形成され、前記ハウジング(20)は実質的に、少なくとも実質的に非金属性導電性材料を有することを特徴とする、プラズマグロー放電及び/または誘電障壁放電発生アセンブリ。
IPC (6):
H05H 1/24
, C23C 16/507
, C23C 16/509
, C23C 16/50
, C23C 16/455
, B01J 19/08
FI (6):
H05H1/24
, C23C16/507
, C23C16/509
, C23C16/50
, C23C16/455
, B01J19/08 E
F-Term (29):
4G075AA22
, 4G075AA27
, 4G075AA30
, 4G075BC01
, 4G075BC06
, 4G075CA03
, 4G075CA16
, 4G075CA47
, 4G075CA57
, 4G075DA02
, 4G075EB27
, 4G075EC21
, 4G075EE02
, 4G075FC15
, 4K030AA09
, 4K030AA11
, 4K030BA44
, 4K030BA61
, 4K030EA01
, 4K030EA04
, 4K030EA06
, 4K030FA01
, 4K030FA03
, 4K030FA04
, 4K030JA09
, 4K030KA15
, 4K030KA16
, 4K030KA46
, 4K030KA47
Patent cited by the Patent: Cited by examiner (9) - 大気圧グロ-放電用電極及び該電極を使用したプラズマ処理方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-009945
Applicant:イーシー化学株式会社, 岡崎幸子, 小駒益弘
- 大気圧グロー放電プラズマによる粉体の処理方法及び装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-305690
Applicant:イーシー化学株式会社
-
特開平3-188285
- プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-203673
Applicant:岡崎幸子, 小駒益弘, 松下電工株式会社, イーシー化学株式会社
- 保護抵抗
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-184979
Applicant:日立電線株式会社
- 表面処理方法及びその装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-237838
Applicant:株式会社ブリヂストン, 岡崎幸子, 小駒益弘
- 薄膜の製造方法とその装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-039006
Applicant:新技術事業団
- 大気圧プラズマアッセンブリ
Gazette classification:公表公報
Application number:特願2002-538461
Applicant:ダウ・コーニング・アイルランド・リミテッド
- 放電用電極
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-254450
Applicant:日本バイリーン株式会社
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