慣性センサ

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：筒井大和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008223182
Publication number (International publication number)：2009145321
Application date： Sep. 01, 2008
Publication date： Jul. 02, 2009
Summary：

【課題】慣性センサにおいて、可動電極と固定電極との間の固着を抑制し、慣性センサが動作不良となることを防止することができる技術を提供する。【解決手段】可動電極13と、可動電極13に対向して設けられた固定電極14と、可動電極13と固定電極14の双方に対向した周辺の導体16と、周辺の導体16の電位が可動電極13の電位と同じになるように、周辺の導体16の電位を調整する復調回路19および電圧調整回路20とを備え、可動電極13と固定電極14の間の容量変化を検出する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

可動電極と、前記可動電極に対向して設けられた固定電極と、前記可動電極および前記固定電極の周辺に前記可動電極および前記固定電極と電気的に分離されている周辺の導体と、前記可動電極と前記固定電極の間の容量変化を検出する検出回路と、を有する慣性センサであって、前記可動電極と前記固定電極と前記周辺の導体は所定の電位に設定されていることを特徴とする慣性センサ。

IPC (2)：

G01P 15/125 , H01L 29/84

FI (2)：

G01P15/125 Z , H01L29/84 Z

F-Term (9)：

4M112AA02 , 4M112BA07 , 4M112CA21 , 4M112CA24 , 4M112CA31 , 4M112CA32 , 4M112CA33 , 4M112FA20 , 4M112GA03

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

角速度センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-354143 Applicant：株式会社村田製作所

Cited by examiner (10)

半導体力学量センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2007-148077 Applicant：株式会社デンソー
半導体力学量センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-036325 Applicant：株式会社デンソー
静電容量検出型センサおよびジャイロスコープならびに入力装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-010693 Applicant：アルプス電気株式会社, 江刺正喜

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