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J-GLOBAL ID：201803002954840920

無電解めっき膜の密着性向上および除去方法とこれを用いたパターニング方法

Inventor：
堀内 伸

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中尾 幸道

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伯川 秀樹

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島田 悟

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近松 真之

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Applicant, Patent owner：
国立研究開発法人産業技術総合研究所

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Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2013021464
Publication number (International publication number)：2014152350
Patent number：6233830
Application date： Feb. 06, 2013
Publication date： Aug. 25, 2014
Claim (excerpt)：
【請求項1】 プラスチック成形品を形成し、その表面上に無電解金属めっきを施し、パルス幅35〜7000μsec、パルス強度0.06〜4.33J/cm2の範囲内のパルス光を照射することにより、プラスチック成形品の表面と金属層との密着性を向上させる、金属層を有するプラスチック成形品の製造方法であって、 (1)プラスチックがポリエチテンテレフタレートであり、無電解めっき膜が無電解金めっき膜であって、パルス光が、40μsecのパルス幅および0.493〜0.678J/cm2のパルス強度、45μsecのパルス幅および0.471〜0.702J/cm2のパルス強度、50μsecのパルス幅および0.457〜0.739J/cm2のパルス強度、60μsecのパルス幅および0.505〜0.721J/cm2のパルス強度、70μsecのパルス幅および0.544〜0.751J/cm2のパルス強度、80μsecのパルス幅および0.583〜0.766J/cm2のパルス強度、90μsecのパルス幅および0.532〜0.719J/cm2のパルス強度、100μsecのパルス幅および0.614〜0.832J/cm2のパルス強度、110μsecのパルス幅および0.57〜0.789J/cm2のパルス強度、120μsecのパルス幅および0.573〜0.803J/cm2のパルス強度、140μsecのパルス幅および0.511〜0.885J/cm2のパルス強度、160μsecのパルス幅および0.588〜0.938J/cm2のパルス強度、180μsecのパルス幅および0.622〜1.06J/cm2のパルス強度、200μsecのパルス幅および0.53〜0.985J/cm2のパルス強度、220secのパルス幅および0.582〜1.08J/cm2のパルス強度、250μsecのパルス幅および0.585〜1.23J/cm2のパルス強度、300μsecのパルス幅および0.696〜1.21J/cm2のパルス強度、350μsecのパルス幅および0.711〜1.39J/cm2のパルス強度、400μsecのパルス幅および0.805〜1.58J/cm2のパルス強度、450μsecのパルス幅および0.897〜1,28J/cm2のパルス強度、500μsecのパルス幅および0.987〜1.41J/cm2のパルス強度、600μsecのパルス幅および0.89〜1.66J/cm2のパルス強度、700μsecのパルス幅および1.02〜1.89J/cm2のパルス強度、800μsecのパルス幅および0.953〜1.82J/cm2のパルス強度、900μsecのパルス幅および0.91〜1.59J/cm2のパルス強度、1000μsecのパルス幅および1.08〜1.9J/cm2のパルス強度、1100μsecのパルス幅および1.15〜2.02J/cm2のパルス強度、1200μsecのパルス幅および1.22〜2.13J/cm2のパルス強度、1400μsecのパルス幅および1.16〜2.09J/cm2のパルス強度、1600μsecのパルス幅および1.31〜2.37J/cm2のパルス強度、1800μsecのパルス幅および1.54〜2.77J/cm2のパルス強度、2000μsecのパルス幅および1.85〜3.34/cm2のパルス強度、2200μsecのパルス幅および1.98〜3.11J/cm2のパルス強度、2500μsecのパルス幅および2.18〜3.44J/cm2のパルス強度、3000μsecのパルス幅および2.57〜4.05J/cm2のパルス強度、3500μsecのパルス幅および3〜4.1J/cm2のパルス強度、4000μsecのパルス幅および2.94〜4.1J/cm2のパルス強度、4500μsecのパルス幅および3.39〜4.03J/cm2のパルス強度、または、5000μsecのパルス幅および3.89J/cm2のパルス強度を有するか、 (2)プラスチックがシクロオレフィンポリマーであり、無電解めっき膜が無電解金めっき膜であって、パルス光が、1600μsecのパルス幅および3.05〜3.43J/cm2のパルス強度、または、1800μsecのパルス幅および3.15J/cm2のパルス強度を有するか、 (3)プラスチックがポリエチレンであり、無電解めっき膜が無電解金めっき膜であって、パルス光が、800μsecのパルス幅および2.78J/cm2のパルス強度、1000μsecのパルス幅および3.33J/cm2のパルス強度、1100μsecのパルス幅および3.2J/cm2のパルス強度、1600μsecのパルス幅および3.84J/cm2のパルス強度、または、1800μsecのパルス幅および4.01J/cm2のパルス強度を有するか、 (4)プラスチックがポリメチルメタクリレートであり、無電解めっき膜が無電解金めっき膜であって、パルス光が、80μsecのパルス幅および0.717〜0.766J/cm2のパルス強度、90μsecのパルス幅および0.669〜0.771J/cm2のパルス強度、100μsecのパルス幅および0.774〜0.832J/cm2のパルス強度、120μsecのパルス幅および0.868J/cm2のパルス強度、350μsecのパルス幅および0.908〜1.14J/cm2のパルス強度、400μsecのパルス幅および1.03〜1.28J/cm2のパルス強度、450μsecのパルス幅および1.02〜1.28J/cm2のパルス強度、500μsecのパルス幅および0.987〜1.41J/cm2のパルス強度、600μsecのパルス幅および1.16〜1.48J/cm2のパルス強度、700μsecのパルス幅および1.33〜1.69J/cm2のパルス強度、800μsecのパルス幅および1.43〜1.82J/cm2のパルス強度、900μsecのパルス幅および1.59〜2.02J/cm2のパルス強度、1000μsecのパルス幅および1.9〜2.41J/cm2のパルス強度、1100μsecのパルス幅および1.34〜2.28J/cm2のパルス強度、1200μsecのパルス幅および1.42〜2.41J/cm2のパルス強度、1400μsecのパルス幅および1.58〜2.38J/cm2のパルス強度、1600μsecのパルス幅および1.79〜2.7J/cm2のパルス強度、1800μsecのパルス幅および2.1〜3.15J/cm2のパルス強度、2000μsecのパルス幅および2.52〜3.8J/cm2のパルス強度、2200μsecのパルス幅および2.7〜4.06J/cm2のパルス強度、2500μsecのパルス幅および2.98〜3.94J/cm2のパルス強度、3000μsecのパルス幅および3.51〜4.05J/cm2のパルス強度、3500μsecのパルス幅および4.1J/cm2のパルス強度、または、4000μsecのパルス幅および4.1J/cm2のパルス強度を有するか、 (5)プラスチックがポリフェニレンサルファイドであり、無電解めっき膜が無電解金めっき膜であって、パルス光が、35μsecのパルス幅および0.557〜0.902J/cm2のパルス強度、40μsecのパルス幅および0.649〜0.961J/cm2のパルス強度、45μsecのパルス幅および0.67〜0.982J/cm2のパルス強度、50μsecのパルス幅および0.543〜0.928J/cm2のパルス強度、60μsecのパルス幅および0.608〜1.03J/cm2のパルス強度、70μsecのパルス幅および0.623〜0.945J/cm2のパルス強度、80μsecのパルス幅および0.626〜1.09J/cm2のパルス強度、90μsecのパルス幅および0.576〜1.26J/cm2のパルス強度、100μsecのパルス幅および0.614〜1.23J/cm2のパルス強度、110μsecのパルス幅および0.621〜1.2J/cm2のパルス強度、120μsecのパルス幅および0.682〜1.32J/cm2のパルス強度、140μsecのパルス幅および0.747〜1.3J/cm2のパルス強度、160μsecのパルス幅および0.86〜1.5J/cm2のパルス強度、180μsecのパルス幅および0.97〜1.69J/cm2のパルス強度、200μsecのパルス幅および0.736〜1.39J/cm2のパルス強度、220secのパルス幅および0.728〜1.53J/cm2のパルス強度、250μsecのパルス幅および0.739〜1.6J/cm2のパルス強度、300μsecのパルス幅および0.785〜1.75J/cm2のパルス強度、350μsecのパルス幅および0.908〜1.85J/cm2のパルス強度、400μsecのパルス幅および1.03〜2.09J/cm2のパルス強度、450μsecのパルス幅および1.14〜2.32J/cm2のパルス強度、500μsecのパルス幅および0.987〜2.12J/cm2のパルス強度、600μsecのパルス幅および1.16〜2.05J/cm2のパルス強度、700μsecのパルス幅および1.33〜2.33J/cm2のパルス強度、800μsecのパルス幅および1.43〜2.27J/cm2のパルス強度、900μsecのパルス幅および1.4〜2.52J/cm2のパルス強度、1000μsecのパルス幅および1.67〜3.01J/cm2のパルス強度、1100μsecのパルス幅および1.77〜3.2J/cm2のパルス強度、1200μsecのパルス幅および1.87〜3.38J/cm2のパルス強度、1400μsecのパルス幅および2.09〜3.77J/cm2のパルス強度、1600μsecのパルス幅および2.37〜4.28J/cm2のパルス強度、1800μsecのパルス幅および2.77〜4.01J/cm2のパルス強度、2000μsecのパルス幅および3.34〜4.29J/cm2のパルス強度、2200μsecのパルス幅および3.57〜4.06J/cm2のパルス強度、または、2500μsecのパルス幅および3.94J/cm2のパルス強度を有するか、 (6)プラスチックがポリスチレンであり、無電解めっき膜が無電解金めっき膜であって、パルス光が、35μsecのパルス幅および0.351〜0.706J/cm2のパルス強度、40μsecのパルス幅および0.38〜0.736J/cm2のパルス強度、45μsecのパルス幅および0.352〜0.767J/cm2のパルス強度、50μsecのパルス幅および0.355〜0.775J/cm2のパルス強度、60μsecのパルス幅および0.357〜0.803J/cm2のパルス強度、70μsecのパルス幅および0.405〜0.845J/cm2のパルス強度、80μsecのパルス幅および0.395〜0.816J/cm2のパルス強度、90μsecのパルス幅および0.451〜0.825J/cm2のパルス強度、100μsecのパルス幅および0.395〜0.893J/cm2のパルス強度、110μsecのパルス幅および0.433〜0.789J/cm2のパルス強度、120μsecのパルス幅および0.388〜0.868J/cm2のパルス強度、140μsecのパルス幅および0.461〜0.885J/cm2のパルス強度、160μsecのパルス幅および0.53〜0.86J/cm2のパルス強度、180μsecのパルス幅および0.597〜0.97J/cm2のパルス強度、200μsecのパルス幅および0.415〜0.985J/cm2のパルス強度、220secのパルス幅および0.45〜1.08J/cm2のパルス強度、250μsecのパルス幅および0.516〜1.01J/cm2のパルス強度、300μsecのパルス幅および0.615〜1.21J/cm2のパルス強度、350μsecのパルス幅および0.624〜1.02J/cm2のパルス強度、400μsecのパルス幅および0.706〜1.15J/cm2のパルス強度、450μsecのパルス幅および0.504〜1.28J/cm2のパルス強度、500μsecのパルス幅および0.561〜1.26J/cm2のパルス強度、600μsecのパルス幅および0.564〜1.48J/cm2のパルス強度、700μsecのパルス幅および0.647〜1.69J/cm2のパルス強度、800μsecのパルス幅および0.698〜1.82J/cm2のパルス強度、900μsecのパルス幅および0.775〜2.02J/cm2のパルス強度、1000μsecのパルス幅および0.924〜2.41J/cm2のパルス強度、1100μsecのパルス幅および0.827〜2.28J/cm2のパルス強度、1200μsecのパルス幅および0.874〜2.41J/cm2のパルス強度、1400μsecのパルス幅および0.976〜2.69J/cm2のパルス強度、1600μsecのパルス幅および1.11〜3.05J/cm2のパルス強度、1800μsecのパルス幅および1.29〜2.77J/cm2のパルス強度、2000μsecのパルス幅および1.56〜3.34J/cm2のパルス強度、2200μsecのパルス幅および1.66〜3.57J/cm2のパルス強度、2500μsecのパルス幅および1.84〜3.94J/cm2のパルス強度、3000μsecのパルス幅および2.16〜4.05J/cm2のパルス強度、3500μsecのパルス幅および2.53〜4.1J/cm2のパルス強度、4000μsecのパルス幅および2.94〜4.1J/cm2のパルス強度、4500μsecのパルス幅および3.39〜4.03J/cm2のパルス強度、または、5000μsecのパルス幅および3.89J/cm2のパルス強度を有するか、 (7)プラスチックがポリフェニレンサルファイドであり、無電解めっき膜が無電解銅めっき膜であって、パルス光が、35μsecのパルス幅および0.557〜0.902J/cm2のパルス強度、40μsecのパルス幅および0.649〜0.961J/cm2のパルス強度、45μsecのパルス幅および0.67〜0.982J/cm2のパルス強度、50μsecのパルス幅および0.543〜0.928J/cm2のパルス強度、60μsecのパルス幅および0.608〜1.03J/cm2のパルス強度、70μsecのパルス幅および0.623〜0.945J/cm2のパルス強度、80μsecのパルス幅および0.626〜1.09J/cm2のパルス強度、90μsecのパルス幅および0.576〜1.26J/cm2のパルス強度、100μsecのパルス幅および0.614〜1.23J/cm2のパルス強度、110μsecのパルス幅および0.621〜1.2J/cm2のパルス強度、120μsecのパルス幅および0.682〜1.32J/cm2のパルス強度、140μsecのパルス幅および0.747〜1.3J/cm2のパルス強度、160μsecのパルス幅および0.86〜1.5J/cm2のパルス強度、180μsecのパルス幅および0.97〜1.69J/cm2のパルス強度、200μsecのパルス幅および0.736〜1.39J/cm2のパルス強度、220secのパルス幅および0.728〜1.53J/cm2のパルス強度、250μsecのパルス幅および0.739〜1.6J/cm2のパルス強度、300μsecのパルス幅および0.785〜1.75J/cm2のパルス強度、350μsecのパルス幅および0.908〜1.85J/cm2のパルス強度、400μsecのパルス幅および1.03〜2.09J/cm2のパルス強度、450μsecのパルス幅および1.14〜2.32J/cm2のパルス強度、500μsecのパルス幅および0.987〜2.12J/cm2のパルス強度、600μsecのパルス幅および1.16〜2.05J/cm2のパルス強度、700μsecのパルス幅および1.33〜2.33J/cm2のパルス強度、800μsecのパルス幅および1.43〜2.27J/cm2のパルス強度、900μsecのパルス幅および1.4〜2.52J/cm2のパルス強度、1000μsecのパルス幅および1.67〜3.01J/cm2のパルス強度、1100μsecのパルス幅および1.77〜3.2J/cm2のパルス強度、1200μsecのパルス幅および1.87〜3.38J/cm2のパルス強度、1400μsecのパルス幅および2.09〜3.77J/cm2のパルス強度、1600μsecのパルス幅および2.37〜4.28J/cm2のパルス強度、1800μsecのパルス幅および2.77〜4.01J/cm2のパルス強度、2000μsecのパルス幅および3.34〜4.29J/cm2のパルス強度、2200μsecのパルス幅および3.57〜4.06J/cm2のパルス強度、または、2500μsecのパルス幅および3.94J/cm2のパルス強度を有するか、 (8)プラスチックがポリカーボネートであり、無電解めっき膜が無電解金めっき膜であって、パルス光が、100μsecのパルス幅および0.614〜0.832J/cm2のパルス強度、110μsecのパルス幅および0.621〜0.789J/cm2のパルス強度、120μsecのパルス幅および0.682〜0.868J/cm2のパルス強度、140μsecのパルス幅および0.747〜1.04J/cm2のパルス強度、160μsecのパルス幅および0.716〜1.02J/cm2のパルス強度、180μsecのパルス幅および0.808〜1.06J/cm2のパルス強度、200μsecのパルス幅および0.897〜1.18J/cm2のパルス強度、220secのパルス幅および0.986〜1.19J/cm2のパルス強度、250μsecのパルス幅および1.01〜1.23J/cm2のパルス強度、300μsecのパルス幅および1.09〜1.33J/cm2のパルス強度、350μsecのパルス幅および1.26〜1.39J/cm2のパルス強度、400μsecのパルス幅および1.43J/cm2のパルス強度、450μsecのパルス幅および1.28〜1.43J/cm2のパルス強度、500μsecのパルス幅および1.12〜1.57J/cm2のパルス強度、600μsecのパルス幅および1.16〜1.66J/cm2のパルス強度、700μsecのパルス幅および1.33〜1.89J/cm2のパルス強度、800μsecのパルス幅および1.1〜2.04J/cm2のパルス強度、900μsecのパルス幅および1.22〜2.27J/cm2のパルス強度、1000μsecのパルス幅および1.46〜2.41J/cm2のパルス強度、1100μsecのパルス幅および1.55〜2.57J/cm2のパルス強度、1200μsecのパルス幅および1.64〜2.71J/cm2のパルス強度、1400μsecのパルス幅および1.83〜3.03J/cm2のパルス強度、1600μsecのパルス幅および2.07〜3.43J/cm2のパルス強度、1800μsecのパルス幅および2.42〜4.01J/cm2のパルス強度、2000μsecのパルス幅および2.91〜4.29J/cm2のパルス強度、2200μsecのパルス幅および3.11〜4.06J/cm2のパルス強度、2500μsecのパルス幅および3.44〜3.94J/cm2のパルス強度、3000μsecのパルス幅および4.05J/cm2のパルス強度、また・・・
IPC (1)：
C23C 18/16 ( 200 6.01)
FI (1)：
C23C 18/16 Z
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
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