Pat
J-GLOBAL ID：201803002954840920

無電解めっき膜の密着性向上および除去方法とこれを用いたパターニング方法

Inventor：
堀内 伸

About 堀内 伸

, 
中尾 幸道

About 中尾 幸道

, 
伯川 秀樹

About 伯川 秀樹

, 
島田 悟

About 島田 悟

, 
近松 真之

About 近松 真之

, 
阿澄 玲子

About 阿澄 玲子


Applicant, Patent owner：
国立研究開発法人産業技術総合研究所

About 国立研究開発法人産業技術総合研究所


Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2013021464
Publication number (International publication number)：2014152350
Patent number：6233830
Application date： Feb. 06, 2013
Publication date： Aug. 25, 2014
Claim (excerpt)：
【請求項1】 プラスチック成形品を形成し、その表面上に無電解金属めっきを施し、パルス幅35〜7000μsec、パルス強度0.06〜4.33J/cm2の範囲内のパルス光を照射することにより、プラスチック成形品の表面と金属層との密着性を向上させる、金属層を有するプラスチック成形品の製造方法であって、 (1)プラスチックがポリエチテンテレフタレートであり、無電解めっき膜が無電解金めっき膜であって、パルス光が、40μsecのパルス幅および0.493〜0.678J/cm2のパルス強度、45μsecのパルス幅および0.471〜0.702J/cm2のパルス強度、50μsecのパルス幅および0.457〜0.739J/cm2のパルス強度、60μsecのパルス幅および0.505〜0.721J/cm2のパルス強度、70μsecのパルス幅および0.544〜0.751J/cm2のパルス強度、80μsecのパルス幅および0.583〜0.766J/cm2のパルス強度、90μsecのパルス幅および0.532〜0.719J/cm2のパルス強度、100μsecのパルス幅および0.614〜0.832J/cm2のパルス強度、110μsecのパルス幅および0.57〜0.789J/cm2のパルス強度、120μsecのパルス幅および0.573〜0.803J/cm2のパルス強度、140μsecのパルス幅および0.511〜0.885J/cm2のパルス強度、160μsecのパルス幅および0.588〜0.938J/cm2のパルス強度、180μsecのパルス幅および0.622〜1.06J/cm2のパルス強度、200μsecのパルス幅および0.53〜0.985J/cm2のパルス強度、220secのパルス幅および0.582〜1.08J/cm2のパルス強度、250μsecのパルス幅および0.585〜1.23J/cm2のパルス強度、300μsecのパルス幅および0.696〜1.21J/cm2のパルス強度、350μsecのパルス幅および0.711〜1.39J/cm2のパルス強度、400μsecのパルス幅および0.805〜1.58J/cm2のパルス強度、450μsecのパルス幅および0.897〜1,28J/cm2のパルス強度、500μsecのパルス幅および0.987〜1.41J/cm2のパルス強度、600μsecのパルス幅および0.89〜1.66J/cm2のパルス強度、700μsecのパルス幅および1.02〜1.89J/cm2のパルス強度、800μsecのパルス幅および0.953〜1.82J/cm2のパルス強度、900μsecのパルス幅および0.91〜1.59J/cm2のパルス強度、1000μsecのパルス幅および1.08〜1.9J/cm2のパルス強度、1100μsecのパルス幅および1.15〜2.02J/cm2のパルス強度、1200μsecのパルス幅および1.22〜2.13J/cm2のパルス強度、1400μsecのパルス幅および1.16〜2.09J/cm2のパルス強度、1600μsecのパルス幅および1.31〜2.37J/cm2のパルス強度、1800μsecのパルス幅および1.54〜2.77J/cm2のパルス強度、2000μsecのパルス幅および1.85〜3.34/cm2のパルス強度、2200μsecのパルス幅および1.98〜3.11J/cm2のパルス強度、2500μsecのパルス幅および2.18〜3.44J/cm2のパルス強度、3000μsecのパルス幅および2.57〜4.05J/cm2のパルス強度、3500μsecのパルス幅および3〜4.1J/cm2のパルス強度、4000μsecのパルス幅および2.94〜4.1J/cm2のパルス強度、4500μsecのパルス幅および3.39〜4.03J/cm2のパルス強度、または、5000μsecのパルス幅および3.89J/cm2のパルス強度を有するか、 (2)プラスチックがシクロオレフィンポリマーであり、無電解めっき膜が無電解金めっき膜であって、パルス光が、1600μsecのパルス幅および3.05〜3.43J/cm2のパルス強度、または、1800μsecのパルス幅および3.15J/cm2のパルス強度を有するか、 (3)プラスチックがポリエチレンであり、無電解めっき膜が無電解金めっき膜であって、パルス光が、800μsecのパルス幅および2.78J/cm2のパルス強度、1000μsecのパルス幅および3.33J/cm2のパルス強度、1100μsecのパルス幅および3.2J/cm2のパルス強度、1600μsecのパルス幅および3.84J/cm2のパルス強度、または、1800μsecのパルス幅および4.01J/cm2のパルス強度を有するか、 (4)プラスチックがポリメチルメタクリレートであり、無電解めっき膜が無電解金めっき膜であって、パルス光が、80μsecのパルス幅および0.717〜0.766J/cm2のパルス強度、90μsecのパルス幅および0.669〜0.771J/cm2のパルス強度、100μsecのパルス幅および0.774〜0.832J/cm2のパルス強度、120μsecのパルス幅および0.868J/cm2のパルス強度、350μsecのパルス幅および0.908〜1.14J/cm2のパルス強度、400μsecのパルス幅および1.03〜1.28J/cm2のパルス強度、450μsecのパルス幅および1.02〜1.28J/cm2のパルス強度、500μsecのパルス幅および0.987〜1.41J/cm2のパルス強度、600μsecのパルス幅および1.16〜1.48J/cm2のパルス強度、700μsecのパルス幅および1.33〜1.69J/cm2のパルス強度、800μsecのパルス幅および1.43〜1.82J/cm2のパルス強度、900μsecのパルス幅および1.59〜2.02J/cm2のパルス強度、1000μsecのパルス幅および1.9〜2.41J/cm2のパルス強度、1100μsecのパルス幅および1.34〜2.28J/cm2のパルス強度、1200μsecのパルス幅および1.42〜2.41J/cm2のパルス強度、1400μsecのパルス幅および1.58〜2.38J/cm2のパルス強度、1600μsecのパルス幅および1.79〜2.7J/cm2のパルス強度、1800μsecのパルス幅および2.1〜3.15J/cm2のパルス強度、2000μsecのパルス幅および2.52〜3.8J/cm2のパルス強度、2200μsecのパルス幅および2.7〜4.06J/cm2のパルス強度、2500μsecのパルス幅および2.98〜3.94J/cm2のパルス強度、3000μsecのパルス幅および3.51〜4.05J/cm2のパルス強度、3500μsecのパルス幅および4.1J/cm2のパルス強度、または、4000μsecのパルス幅および4.1J/cm2のパルス強度を有するか、 (5)プラスチックがポリフェニレンサルファイドであり、無電解めっき膜が無電解金めっき膜であって、パルス光が、35μsecのパルス幅および0.557〜0.902J/cm2のパルス強度、40μsecのパルス幅および0.649〜0.961J/cm2のパルス強度、45μsecのパルス幅および0.67〜0.982J/cm2のパルス強度、50μsecのパルス幅および0.543〜0.928J/cm2のパルス強度、60μsecのパルス幅および0.608〜1.03J/cm2のパルス強度、70μsecのパルス幅および0.623〜0.945J/cm2のパルス強度、80μsecのパルス幅および0.626〜1.09J/cm2のパルス強度、90μsecのパルス幅および0.576〜1.26J/cm2のパルス強度、100μsecのパルス幅および0.614〜1.23J/cm2のパルス強度、110μsecのパルス幅および0.621〜1.2J/cm2のパルス強度、120μsecのパルス幅および0.682〜1.32J/cm2のパルス強度、140μsecのパルス幅および0.747〜1.3J/cm2のパルス強度、160μsecのパルス幅および0.86〜1.5J/cm2のパルス強度、180μsecのパルス幅および0.97〜1.69J/cm2のパルス強度、200μsecのパルス幅および0.736〜1.39J/cm2のパルス強度、220secのパルス幅および0.728〜1.53J/cm2のパルス強度、250μsecのパルス幅および0.739〜1.6J/cm2のパルス強度、300μsecのパルス幅および0.785〜1.75J/cm2のパルス強度、350μsecのパルス幅および0.908〜1.85J/cm2のパルス強度、400μsecのパルス幅および1.03〜2.09J/cm2のパルス強度、450μsecのパルス幅および1.14〜2.32J/cm2のパルス強度、500μsecのパルス幅および0.987〜2.12J/cm2のパルス強度、600μsecのパルス幅および1.16〜2.05J/cm2のパルス強度、700μsecのパルス幅および1.33〜2.33J/cm2のパルス強度、800μsecのパルス幅および1.43〜2.27J/cm2のパルス強度、900μsecのパルス幅および1.4〜2.52J/cm2のパルス強度、1000μsecのパルス幅および1.67〜3.01J/cm2のパルス強度、1100μsecのパルス幅および1.77〜3.2J/cm2のパルス強度、1200μsecのパルス幅および1.87〜3.38J/cm2のパルス強度、1400μsecのパルス幅および2.09〜3.77J/cm2のパルス強度、1600μsecのパルス幅および2.37〜4.28J/cm2のパルス強度、1800μsecのパルス幅および2.77〜4.01J/cm2のパルス強度、2000μsecのパルス幅および3.34〜4.29J/cm2のパルス強度、2200μsecのパルス幅および3.57〜4.06J/cm2のパルス強度、または、2500μsecのパルス幅および3.94J/cm2のパルス強度を有するか、 (6)プラスチックがポリスチレンであり、無電解めっき膜が無電解金めっき膜であって、パルス光が、35μsecのパルス幅および0.351〜0.706J/cm2のパルス強度、40μsecのパルス幅および0.38〜0.736J/cm2のパルス強度、45μsecのパルス幅および0.352〜0.767J/cm2のパルス強度、50μsecのパルス幅および0.355〜0.775J/cm2のパルス強度、60μsecのパルス幅および0.357〜0.803J/cm2のパルス強度、70μsecのパルス幅および0.405〜0.845J/cm2のパルス強度、80μsecのパルス幅および0.395〜0.816J/cm2のパルス強度、90μsecのパルス幅および0.451〜0.825J/cm2のパルス強度、100μsecのパルス幅および0.395〜0.893J/cm2のパルス強度、110μsecのパルス幅および0.433〜0.789J/cm2のパルス強度、120μsecのパルス幅および0.388〜0.868J/cm2のパルス強度、140μsecのパルス幅および0.461〜0.885J/cm2のパルス強度、160μsecのパルス幅および0.53〜0.86J/cm2のパルス強度、180μsecのパルス幅および0.597〜0.97J/cm2のパルス強度、200μsecのパルス幅および0.415〜0.985J/cm2のパルス強度、220secのパルス幅および0.45〜1.08J/cm2のパルス強度、250μsecのパルス幅および0.516〜1.01J/cm2のパルス強度、300μsecのパルス幅および0.615〜1.21J/cm2のパルス強度、350μsecのパルス幅および0.624〜1.02J/cm2のパルス強度、400μsecのパルス幅および0.706〜1.15J/cm2のパルス強度、450μsecのパルス幅および0.504〜1.28J/cm2のパルス強度、500μsecのパルス幅および0.561〜1.26J/cm2のパルス強度、600μsecのパルス幅および0.564〜1.48J/cm2のパルス強度、700μsecのパルス幅および0.647〜1.69J/cm2のパルス強度、800μsecのパルス幅および0.698〜1.82J/cm2のパルス強度、900μsecのパルス幅および0.775〜2.02J/cm2のパルス強度、1000μsecのパルス幅および0.924〜2.41J/cm2のパルス強度、1100μsecのパルス幅および0.827〜2.28J/cm2のパルス強度、1200μsecのパルス幅および0.874〜2.41J/cm2のパルス強度、1400μsecのパルス幅および0.976〜2.69J/cm2のパルス強度、1600μsecのパルス幅および1.11〜3.05J/cm2のパルス強度、1800μsecのパルス幅および1.29〜2.77J/cm2のパルス強度、2000μsecのパルス幅および1.56〜3.34J/cm2のパルス強度、2200μsecのパルス幅および1.66〜3.57J/cm2のパルス強度、2500μsecのパルス幅および1.84〜3.94J/cm2のパルス強度、3000μsecのパルス幅および2.16〜4.05J/cm2のパルス強度、3500μsecのパルス幅および2.53〜4.1J/cm2のパルス強度、4000μsecのパルス幅および2.94〜4.1J/cm2のパルス強度、4500μsecのパルス幅および3.39〜4.03J/cm2のパルス強度、または、5000μsecのパルス幅および3.89J/cm2のパルス強度を有するか、 (7)プラスチックがポリフェニレンサルファイドであり、無電解めっき膜が無電解銅めっき膜であって、パルス光が、35μsecのパルス幅および0.557〜0.902J/cm2のパルス強度、40μsecのパルス幅および0.649〜0.961J/cm2のパルス強度、45μsecのパルス幅および0.67〜0.982J/cm2のパルス強度、50μsecのパルス幅および0.543〜0.928J/cm2のパルス強度、60μsecのパルス幅および0.608〜1.03J/cm2のパルス強度、70μsecのパルス幅および0.623〜0.945J/cm2のパルス強度、80μsecのパルス幅および0.626〜1.09J/cm2のパルス強度、90μsecのパルス幅および0.576〜1.26J/cm2のパルス強度、100μsecのパルス幅および0.614〜1.23J/cm2のパルス強度、110μsecのパルス幅および0.621〜1.2J/cm2のパルス強度、120μsecのパルス幅および0.682〜1.32J/cm2のパルス強度、140μsecのパルス幅および0.747〜1.3J/cm2のパルス強度、160μsecのパルス幅および0.86〜1.5J/cm2のパルス強度、180μsecのパルス幅および0.97〜1.69J/cm2のパルス強度、200μsecのパルス幅および0.736〜1.39J/cm2のパルス強度、220secのパルス幅および0.728〜1.53J/cm2のパルス強度、250μsecのパルス幅および0.739〜1.6J/cm2のパルス強度、300μsecのパルス幅および0.785〜1.75J/cm2のパルス強度、350μsecのパルス幅および0.908〜1.85J/cm2のパルス強度、400μsecのパルス幅および1.03〜2.09J/cm2のパルス強度、450μsecのパルス幅および1.14〜2.32J/cm2のパルス強度、500μsecのパルス幅および0.987〜2.12J/cm2のパルス強度、600μsecのパルス幅および1.16〜2.05J/cm2のパルス強度、700μsecのパルス幅および1.33〜2.33J/cm2のパルス強度、800μsecのパルス幅および1.43〜2.27J/cm2のパルス強度、900μsecのパルス幅および1.4〜2.52J/cm2のパルス強度、1000μsecのパルス幅および1.67〜3.01J/cm2のパルス強度、1100μsecのパルス幅および1.77〜3.2J/cm2のパルス強度、1200μsecのパルス幅および1.87〜3.38J/cm2のパルス強度、1400μsecのパルス幅および2.09〜3.77J/cm2のパルス強度、1600μsecのパルス幅および2.37〜4.28J/cm2のパルス強度、1800μsecのパルス幅および2.77〜4.01J/cm2のパルス強度、2000μsecのパルス幅および3.34〜4.29J/cm2のパルス強度、2200μsecのパルス幅および3.57〜4.06J/cm2のパルス強度、または、2500μsecのパルス幅および3.94J/cm2のパルス強度を有するか、 (8)プラスチックがポリカーボネートであり、無電解めっき膜が無電解金めっき膜であって、パルス光が、100μsecのパルス幅および0.614〜0.832J/cm2のパルス強度、110μsecのパルス幅および0.621〜0.789J/cm2のパルス強度、120μsecのパルス幅および0.682〜0.868J/cm2のパルス強度、140μsecのパルス幅および0.747〜1.04J/cm2のパルス強度、160μsecのパルス幅および0.716〜1.02J/cm2のパルス強度、180μsecのパルス幅および0.808〜1.06J/cm2のパルス強度、200μsecのパルス幅および0.897〜1.18J/cm2のパルス強度、220secのパルス幅および0.986〜1.19J/cm2のパルス強度、250μsecのパルス幅および1.01〜1.23J/cm2のパルス強度、300μsecのパルス幅および1.09〜1.33J/cm2のパルス強度、350μsecのパルス幅および1.26〜1.39J/cm2のパルス強度、400μsecのパルス幅および1.43J/cm2のパルス強度、450μsecのパルス幅および1.28〜1.43J/cm2のパルス強度、500μsecのパルス幅および1.12〜1.57J/cm2のパルス強度、600μsecのパルス幅および1.16〜1.66J/cm2のパルス強度、700μsecのパルス幅および1.33〜1.89J/cm2のパルス強度、800μsecのパルス幅および1.1〜2.04J/cm2のパルス強度、900μsecのパルス幅および1.22〜2.27J/cm2のパルス強度、1000μsecのパルス幅および1.46〜2.41J/cm2のパルス強度、1100μsecのパルス幅および1.55〜2.57J/cm2のパルス強度、1200μsecのパルス幅および1.64〜2.71J/cm2のパルス強度、1400μsecのパルス幅および1.83〜3.03J/cm2のパルス強度、1600μsecのパルス幅および2.07〜3.43J/cm2のパルス強度、1800μsecのパルス幅および2.42〜4.01J/cm2のパルス強度、2000μsecのパルス幅および2.91〜4.29J/cm2のパルス強度、2200μsecのパルス幅および3.11〜4.06J/cm2のパルス強度、2500μsecのパルス幅および3.44〜3.94J/cm2のパルス強度、3000μsecのパルス幅および4.05J/cm2のパルス強度、また・・・
IPC (1)：
C23C 18/16 ( 200 6.01)
FI (1)：
C23C 18/16 Z
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (6)
Show all
Cited by examiner (6)
Show all

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM