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J-GLOBAL ID：201803012038648377

塵埃量検出装置および塵埃量検出装置の制御方法

Inventor： 下山 勲 ,  松本 潔 ,  高橋 英俊 ,  伊藤 寿浩 ,  小林 健 ,  富松 大
Applicant, Patent owner： セイコーインスツル株式会社 ,  国立大学法人 東京大学 ,  国立研究開発法人産業技術総合研究所
Agent (3)： 志賀 正武 ,  鈴木 慎吾 ,  西澤 和純
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2013155791
Publication number (International publication number)：2015025748
Patent number：6291740
Application date： Jul. 26, 2013
Publication date： Feb. 05, 2015
Claim (excerpt)：

【請求項1】 試料気体中の塵埃量を検出する塵埃量検出部と、 前記塵埃量検出部に前記試料気体を供給する試料気体供給部と、 前記塵埃量の増減に相関を有する物理量の変化を検出するセンサと、 前記センサの出力信号に応じて前記塵埃量検出部および前記試料気体供給部の駆動制御を行なう制御部と、 を備え、 前記制御部は、前記センサの出力信号に基づく起動信号の受信を契機として、前記試料気体供給部を起動するタイミングを前記センサによって検出された前記物理量と互いに異なる複数の所定値とに応じた時間遅延させてから前記試料気体供給部を起動するとともに前記塵埃量検出部による検出を開始する、 ことを特徴とする塵埃量検出装置。

IPC (1)：

G01N 15/06 ( 200 6.01)

FI (2)：

G01N 15/06 C ,  G01N 15/06 D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

• センサネットワークシステム
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2011-143076   Applicant：セイコーインスツル株式会社
• 微粒子測定装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2005-001729   Applicant：富士電機システムズ株式会社
• 微粒子測定装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2004-184190   Applicant：富士電機システムズ株式会社
• 特開平2-203248
  
• 粒度分布測定装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-257877   Applicant：株式会社島津製作所
• パーティクルカウンタ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2011-054222   Applicant：セイコーインスツル株式会社, 独立行政法人産業技術総合研究所
• 特開昭63-009839