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J-GLOBAL ID：201203073713539358

パーティクルカウンタ

Inventor：
桑名 健太

About 桑名 健太

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磯崎 瑛宏

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新荻 正隆

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富松 大

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伊藤 寿浩

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Applicant, Patent owner：
セイコーインスツル株式会社

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独立行政法人産業技術総合研究所

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Agent (2)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2011054222
Publication number (International publication number)：2012189492
Application date： Mar. 11, 2011
Publication date： Oct. 04, 2012
Summary：
【課題】流量に関連付けたパーティクルの計測が可能とされ、精度の高いクリーン度の計測に繋げることができると共に、小型化及び消費電力の低減化を図ること。【解決手段】試料気体Sを内部通過させる内部流路11が形成されたフローセル10と、試料気体の流速を計測する流速計測部12と、試料気体に向けて検出光を照射する光照射部31、及び検出光が試料気体中に含まれるパーティクルPに当たることで散乱する散乱光を検出する光検出部32を具備し、検出した散乱光に基づいてパーティクルを計測するパーティクル計測部13と、流速計測部で計測された流速に基づいて試料気体の流量を算出すると共に、算出した流量とパーティクル計測部による計測結果とを関連付ける算出部14と、を備えているパーティクルカウンタ1を提供する。【選択図】図3
Claim (excerpt)：
流動する試料気体を内部通過させる内部流路が形成されたフローセルと、 前記内部流路の内壁面に沿って形成され、該内部流路を通過する前記試料気体の流速を計測する流速計測部と、 前記内部流路を通過する前記試料気体に向けて検出光を照射する光照射部、及び検出光が試料気体中に含まれるパーティクルに当たることで散乱する散乱光を検出する光検出部を具備し、検出した散乱光に基づいてパーティクルを計測するパーティクル計測部と、 前記流速計測部で計測された前記流速に基づいて前記試料気体の流量を算出すると共に、算出した流量と前記パーティクル計測部による計測結果とを関連付ける算出部と、を備えていることを特徴とするパーティクルカウンタ。
IPC (4)：
G01N 15/06 ,  G01P 5/04 ,  G01F 1/36 ,  G01P 5/20
FI (5)：
G01N15/06 D ,  G01P5/04 F ,  G01P5/04 H ,  G01F1/36 ,  G01P5/20 E
F-Term (2)：
2F030CA04 ,  2F030CC11
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (11)
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Article cited by the Patent：
Cited by examiner (1)

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