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J-GLOBAL ID：201302227579477473   整理番号：13A0822659

部分回転楕円面ミラーによる硬X線集光光学系の開発-波動光学集光シミュレーターと表面形状計測法-

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著者 (6件)： 湯本博勝 (高輝度光科学研究セ) ,  小山貴久 (高輝度光科学研究セ) ,  松山智至 (大阪大 大学院工学研究科) ,  山内和人 (大阪大 大学院工学研究科) ,  大橋治彦 (高輝度光科学研究セ) ,  大橋治彦 (理研)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2013  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.C66  発行年： 2013年02月27日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 硬X線領域の放射光のための高効率なナノ集光光学系の構築を目的とし,部分回転楕円面形状ミラーの実現を目指している。本ミラーは,長手方向の曲率半径が数十mであるのに対し,短手方向には数mmの曲率半径を持つ。波動光学シミュレーターを開発したことで,アラインメントやミラー形状の誤差に対する集光強度分布の評価が可能となった。一方で,高精度スティッチング干渉法に基づく,表面形状計測装置の開発を進めている。(著者抄録)

シソーラス用語： 回転楕円体 ,  楕円面鏡 ,  *硬X線 ,  *集光器 ,  光学系 ,  波動光学 ,  シミュレータ ,  計測 ,  分布 ,  光干渉法 ,  形状誤差 ,  表面形状 ,  ステッチ溶接
準シソーラス用語： アライメント精度 ,  ステッチング ,  ナノ集光光学系 ,  高効率 ,  集光シミュレータ ,  集光強度分布 ,  *部分楕円面鏡

分類 (3件)： その他の光学  (BD03100O) ,  その他の光デバイス  (BD06060O) ,  X線技術  (BA02060D)

タイトルに関連する用語 (10件)： 楕円面 ,  ミラー ,  硬X線 ,  集光光学系 ,  開発 ,  波動光学 ,  集光 ,  シミュレーター ,  表面形状 ,  計測法