特許
J-GLOBAL ID：201303043869218323
光干渉トモグラフィー装置,光形状計測装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
廣瀬 隆行
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-189902
公開番号（公開出願番号）：特開2009-025202
特許番号：特許第5181384号
出願日： 2007年07月20日
公開日（公表日）： 2009年02月05日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 多波長光源(2)と,
前記多波長光源(2)からの光が入力する,光単側波帯変調器を具備する光周波数掃引器(3)と,
前記光周波数掃引器(3)からの光が測定対象(4)に照射され,前記測定対象(4)から出力された光を検出する光検出部(5)と,
を具備し,
前記多波長光源(2)は,
1つのレーザ光源,又は周波数の異なる複数のレーザ光源(10)と,
前記レーザ光源(10)からの光が入力する光周波数コム発生器(11)を具備し,
前記光周波数掃引器(3)は,
前記光周波数コム発生器(11)から出力される光コムのそれぞれの光を周波数掃引する,
光干渉トモグラフィー装置(1)。
IPC (4件)：
G01N 21/17 ( 200 6.01)
, A61B 10/00 ( 200 6.01)
, G01N 21/01 ( 200 6.01)
, G01N 21/39 ( 200 6.01)
G01N 21/17 620
, A61B 10/00 E
, G01N 21/01 D
, G01N 21/39
