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J-GLOBAL ID：201402214989565089   整理番号：14A1401292

硬X線用部分回転楕円面集光ミラーの作製-高精度非球面加工法によるミラー表面の形状修正加工-

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著者 (8件)： 湯本博勝 (高輝度光科学研究セ SPring-8) ,  湯本博勝 (理研 Spring-8) ,  小山貴久 (高輝度光科学研究セ SPring-8) ,  小山貴久 (理研 Spring-8) ,  松山智至 (大阪大 大学院工学研究科) ,  山内和人 (大阪大 大学院工学研究科) ,  大橋治彦 (高輝度光科学研究セ SPring-8) ,  大橋治彦 (理研 Spring-8)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2014  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.E40  発行年： 2014年09月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 1枚のミラーにより2次元集光が可能な部分回転楕円面ミラーによる硬X線ナノ集光を目的とし,部分回転楕円面ミラーの作製システムの開発を進めている。ナノ集光ミラーには1nm単位の形状制御と0.1nm(RMS)オーダーの表面粗さが要求される。高精度スティッチング干渉法に基づくミラー形状評価と,回転球ヘッド型とノズル吐出型の高精度非球面加工法を利用し,ミラー表面の形状修正加工を実施した。(著者抄録)

シソーラス用語： 回転 ,  *楕円面鏡 ,  硬X線 ,  集光 ,  ナノ構造 ,  *表面粗さ ,  形態 ,  修正 ,  加工 ,  放射光施設 ,  輝度 ,  *光学素子

分類 (1件)： その他の光学機器  (QF05060C)

タイトルに関連する用語 (7件)： 硬X線 ,  楕円面 ,  集光 ,  ミラー ,  作製 ,  非球面 ,  形状修正