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J-GLOBAL ID：201402284875355333   整理番号：14A0631947

MOD法によるPb(Mg_1/3Nb_2/3)O₃薄膜のナノ構造のTEM分析

TEM analysis of the nanostructure of Pb(Mg_1/3Nb_2/3)O₃ thin films by MOD method

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著者 (8件)： MISAKA Y. (Tohoku Univ., Miyagi, JPN) ,  KIGUCHI T. (Tohoku Univ., Miyagi, JPN) ,  SATO K. (Tohoku Univ., Miyagi, JPN) ,  NISHIMATSU T. (Tohoku Univ., Miyagi, JPN) ,  YAMADA T. (Nagoya Univ., Aichi, JPN) ,  YAMADA T. (JST-PRESTO, Tokyo, JPN) ,  USAMI N. (Tohoku Univ., Miyagi, JPN) ,  KONNO T.J. (Tohoku Univ., Miyagi, JPN)
資料名： Key Engineering Materials  (Key Engineering Materials)
巻： 582  ページ： 19-22  発行年： 2014年 
JST資料番号： D0744C  ISSN： 1013-9826  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Pb(Mg_1/3Nb_2/3)O₃(PMN)は優れた誘電特性と圧電特性を有しているが,アニーリング時に低誘電率相が析出する問題がある。本研究では,PMN薄膜を有機金属分解(MOD)法により作製し,その結晶性に対する過剰Pbとアニーリング条件の影響を調べた。(001)SrTiO₃(STO)基板上に,0%および10%Pb過剰のPMN膜をスピンコーティングにより作製した。923Kの急速熱アニーリング処理による結晶化後,973K~1173Kの温度範囲でアニーリングした。また,アニーリング時に別のSTO基板を被せたフェイシングアニーリングも行った。XRD,TEMおよびEDSによる評価を行った。その結果,973Kでフェイシングアニーリングした10%Pb過剰膜が最も優れた結晶性を示すことを明らかにした。

シソーラス用語： *ニオブ酸塩 ,  *鉛化合物 ,  *マグネシウム化合物 ,  *誘電体薄膜 ,  *溶液成長 ,  ナノ構造 ,  電子顕微鏡観察 ,  透過型電子顕微鏡 ,  熱処理 ,  チタン酸ストロンチウム ,  スピンコーティング ,  RTA【熱処理】 ,  結晶化 ,  結晶度 ,  *強誘電体薄膜 ,  透過型電子顕微鏡法 ,  熱アニーリング ,  *ニオブ酸鉛マグネシウム
準シソーラス用語： *マグネシウム酸ニオブ酸鉛 ,  *有機金属分解法

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (7件)： MOD法 ,  Pb ,  O3 ,  薄膜 ,  ナノ構造 ,  TEM ,  分析