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著者 (13件)：
資料名：
巻： 63rd ページ： ROMBUNNO.22A-W541-4 発行年： 2016年03月03日
JST資料番号： Y0054B ISSN： 2758-4704 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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山田高寛
(大阪大 大学院)
, 伊藤丈予
(大阪大 大学院)
, 淺原亮平
(大阪大 大学院)
, 渡邉健太
(大阪大 大学院)
, 野崎幹人
(大阪大 大学院)
, 中澤敏志
(パナソニック)
, 按田義治
(パナソニック)
, 石田昌宏
(パナソニック)
, 上田哲三
(パナソニック)
, 吉越章隆
(原子力機構)
, 細井卓治
(大阪大 大学院)
, 志村考功
(大阪大 大学院)
, 渡部平司
(大阪大 大学院)
資料名：
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
(Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) について
巻： 63rd ページ： ROMBUNNO.22A-W541-4 発行年： 2016年03月03日
JST資料番号： Y0054B ISSN： 2758-4704 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
シソーラス用語：
準シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*欠陥密度
, 欠陥密度 について
*窒化ガリウム
, 窒化ガリウム について
熱酸化
, 熱酸化 について
モルフォロジー
, モルフォロジー について
*表面構造
, 表面構造 について
原子間力顕微鏡
, 原子間力顕微鏡 について
*半導体素子
, 半導体素子 について
*構造
構造 について
準シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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AFM【顕微鏡】
, AFM【顕微鏡】 について
*パワーデバイス
パワーデバイス について
分類 (2件)：
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
半導体の格子欠陥
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
(BK12040Q)
, 固体デバイス製造技術一般
半導体の格子欠陥 について
(NC03030V)
固体デバイス製造技術一般 について
タイトルに関連する用語 (5件)：
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した文献タイトルの用語をもとにしたキーワードです
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欠陥密度
, 欠陥密度 について
GaN
, GaN について
熱酸化
, 熱酸化 について
過程
, 過程 について
評価
評価 について
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