特許
J-GLOBAL ID：202203006599039488

ソースのエッジに隣接するソースコンタクトを有するメモリアレイを含む装置

発明者：
丹沢 徹

丹沢 徹 について


出願人/特許権者：
マイクロン テクノロジー,インク.

マイクロン テクノロジー,インク. について


代理人 (4件)： 青木 宏義 ,  天田 昌行 ,  大菅 義之 ,  野村 泰久
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-555611
公開番号（公開出願番号）：特開2020-074380
特許番号：特許第7053548号
出願日： 2015年03月05日
公開日（公表日）： 2020年05月14日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 第1及び第2のソースと、 個別のソースの上方に各々形成され、前記個別のソースに結合された第1及び第2のメモリアレイであって、ここで、前記メモリアレイの各々は、 メモリセルの垂直なストリングと、 ワード線方向に延在しメモリセルの個別のティアに結合された個別のワード線を含む制御ゲートと、 データ線とを含む、前記第1及び第2のメモリアレイと、 前記第1及び第2のメモリアレイの前記データ線の上方に延在することを含む、前記第1及び第2のメモリアレイの上に延在し、前記ワード線方向に延在する複数のソース導体であって、個別の第1及び第2の垂直なソースコンタクトを通じて前記第1及び第2のソースに結合された前記複数のソース導体であって、各垂直なソースコンタクトが個別の前記メモリアレイの外側に延在する前記複数のソース導体とを含む、メモリ装置。
IPC (5件)：
H01L 27/1158 ( 201 7.01) ,  H01L 27/1155 ( 201 7.01) ,  H01L 21/336 ( 200 6.01) ,  H01L 29/788 ( 200 6.01) ,  H01L 29/792 ( 200 6.01)
FI (3件)：
H01L 27/115 2 ,  H01L 27/115 6 ,  H01L 29/78 371
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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