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J-GLOBAL ID：200902102616909370   整理番号：02A0466979

1,3-ジシラブタンをCソースに用いた光CVD法によるa-SiC薄膜の作製

クリップ
著者 (5件)：
岡林尚志

岡林尚志 について

(東京工大 大学院理工学研究科)

東京工大 大学院理工学研究科 について

, 
八木修平

八木修平 について

(東京工大 大学院理工学研究科)

東京工大 大学院理工学研究科 について

, 
阿部克也

阿部克也 について

(東京工大 大学院理工学研究科)

東京工大 大学院理工学研究科 について

, 
山田明

山田明 について

(東京工大 大学院理工学研究科)

東京工大 大学院理工学研究科 について

, 
小長井誠

小長井誠 について

(東京工大 大学院理工学研究科)

東京工大 大学院理工学研究科 について


資料名：
応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)

応用物理学関係連合講演会講演予稿集 について


巻： 49th  号： 2  ページ： 920  発行年： 2002年03月27日 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ（有料）でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
*非晶質半導体

非晶質半導体 について

,...
分類 (1件)：
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
 半導体薄膜 
(BK14040E)

半導体薄膜 について

物質索引 (1件)：
物質索引
文献のテーマを表す化学物質のキーワードです
1,3-ジシラブタン

1,3-ジシラブタン について

タイトルに関連する用語 (5件)：
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した文献タイトルの用語をもとにしたキーワードです
ソース

ソース について

, 
光CVD法

光CVD法 について

, 
SiC

SiC について

, 
薄膜

薄膜 について

, 
作製

作製 について


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