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J-GLOBAL ID：200902241566427094   整理番号：09A0177269

超臨界二酸化炭素高周波プラズマの分光計測

Spectroscopic Measurements of HF Plasma in Supercritical CO₂

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著者 (9件)： MAEHARA Tsunehiro (Ehime Univ., Ehime, JPN) ,  IWAMAE Atsushi (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  MUKASA Shinobu (Ehime Univ., Ehime, JPN) ,  TAKEMORI Toshihiko (Ehime Univ., Ehime, JPN) ,  WATANABE Takashi (Ehime Univ., Ehime, JPN) ,  KUROKAWA Kenya (Ehime Univ., Ehime, JPN) ,  TOYOTA Hiromichi (Ehime Univ., Ehime, JPN) ,  NOMURA Shinfuku (Ehime Univ., Ehime, JPN) ,  KAWASHIMA Ayato (Ehime Univ., Ehime, JPN)
資料名： プラズマ科学シンポジウム/プラズマプロセシング研究会プロシーディングス  (プラズマプロセシング研究会プロシーディングス)
巻： 2009-26th  ページ： 536-537  発行年： 2009年 
JST資料番号： L4449A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *プラズマ分光 ,  二酸化炭素 ,  プラズマ温度 ,  炭素 ,  可視発光スペクトル ,  スペクトルバンド ,  スペクトル線広がり ,  スペクトルシフト ,  高周波放電 ,  酸素 ,  超臨界二酸化炭素 ,  *RFプラズマ
準シソーラス用語： *高周波プラズマ

分類 (1件)： プラズマ診断  (BJ02090L)

タイトルに関連する用語 (3件)： 超臨界二酸化炭素 ,  高周波プラズマ ,  分光計測