特許
J-GLOBAL ID:200903082145097667

広域エネルギーレンジ放射線検出器及び製造法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 梅村 勁樹
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-433694
公開番号(公開出願番号):特開2005-191440
出願日: 2003年12月26日
公開日(公表日): 2005年07月14日
要約:
【課題】従来、軟X線及び硬X線の双方に対して良好な感度を得ることは困難であった。 【解決手段】検出素子をSiとCdTeとのタンデム構造とする。また、Si基板3とCdTe基板4との間にIn(インジウム)を間挿して、一体化を図ることにより強度を高めるとともに、Si基板3により軟X線を検出し、CdTe基板4により硬X線を検出する。また、CdTe基板4側に分離帯14を設けることにより、電気的に各検出素子が分離でき、2次元画像センサとなり得る。 【選択図】 図4
請求項(抜粋):
II-VI族半導体とIV族半導体との積層構造を有し、広レンジの放射線エネルギー検出を可能にする広域エネルギーレンジ放射線検出器。
IPC (2件):
H01L31/09 ,  G01T1/24
FI (2件):
H01L31/00 A ,  G01T1/24
Fターム (16件):
2G088FF02 ,  2G088GG21 ,  2G088JJ09 ,  2G088JJ33 ,  2G088JJ37 ,  2G088KK18 ,  5F088AA03 ,  5F088AB02 ,  5F088AB07 ,  5F088AB09 ,  5F088BA02 ,  5F088BB03 ,  5F088DA01 ,  5F088DA11 ,  5F088LA07 ,  5F088LA09
引用特許:
出願人引用 (1件)
  • 半導体に基づくX線検出装置
    公報種別:公表公報   出願番号:特願平9-509915   出願人:コミツサリアタレネルジーアトミーク, ソシエテソフラデイール
審査官引用 (9件)
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引用文献:
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