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発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)： 大川 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-157727
公開番号（公開出願番号）：特開2008-308730
出願日： 2007年06月14日
公開日（公表日）： 2008年12月25日
要約：
FI (1件)：
Fターム (6件)：
引用特許：
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出願人/特許権者：
株式会社豊田自動織機
, 株式会社豊田自動織機 について
国立大学法人愛媛大学
国立大学法人愛媛大学 について
代理人 (1件)： 大川 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-157727
公開番号（公開出願番号）：特開2008-308730
出願日： 2007年06月14日
公開日（公表日）： 2008年12月25日
要約：
【課題】液中プラズマを用いる成膜において、液体のみならず固体をも原料とした膜を基材の表面に成膜できる成膜方法を提供する。【解決手段】第一の原料を含む液体L中に、第二の原料を含む固体からなる供給源1と基材4とを互いに対向させて配設する配設工程と、供給源1と基材4との間を連続して接続する気相空間Gを形成する気相空間形成工程と、供給源1を溶融および/または蒸発させることで第二の原料を液体Lおよび/または気相空間G中に供給する第二原料供給工程と、第一の原料からなるプラズマまたは第一の原料と第二の原料とからなるプラズマを気相空間Gに発生させるプラズマ発生工程と、を経て、基材4の表面に第一の原料および第二の原料の分解成分を堆積させる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
第一の原料を含む液体中に、第二の原料を含む固体からなる供給源と基材とを互いに対向させて配設する配設工程と、
前記供給源と前記基材との間を連続して接続する気相空間を形成する気相空間形成工程と、
前記供給源を溶融および/または蒸発させることで前記第二の原料を前記液体および/または前記気相空間中に供給する第二原料供給工程と、
前記第一の原料からなるプラズマまたは該第一の原料と前記第二の原料とからなるプラズマを前記気相空間に発生させるプラズマ発生工程と、
を経て、前記基材の表面に前記第一の原料および前記第二の原料の分解成分を堆積させることを特徴とする液中プラズマを用いた成膜方法。
IPC (1件)： FI (1件)：
Fターム (6件)：
引用特許：
出願人引用 (2件)
- プラズマを発生させる方法およびプラズマ発生装置
公報種別：公開公報 出願番号：特願2002-098193 出願人：株式会社テクノネットワーク四国 - 液中プラズマ発生装置および薄膜形成方法
公報種別：公開公報 出願番号：特願2002-313979 出願人：株式会社テクノネットワーク四国
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