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J-GLOBAL ID：201002234077864141   整理番号：10A0456635

超臨界二酸化炭素高周波プラズマの開発研究

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著者 (5件)： 川嶋文人 (愛媛大 農) ,  前原常弘 (愛媛大 大学院理工学研究科) ,  豊田洋通 (愛媛大 大学院理工学研究科) ,  向笠忍 (愛媛大 大学院理工学研究科) ,  野村信福 (愛媛大 大学院理工学研究科)
資料名： Jasco Report  (Jasco Report)
号： 特集第10号  ページ： 5-9  発行年： 2010年03月25日 
JST資料番号： L1132A  ISSN： 0916-3492  CODEN： JREPEH  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 標記プラズマで圧力上昇に伴うプラズマの発光挙動を解析するため,発光スペクトル解析をした。超臨界状態の14MPaでは,CO(375nm,382nm)のブロードなピーク,C₂スワンバンド(468nm,517nm)のブロードなピーク及びOI(777nm,844nm)の大きなピークを観測した。スワンバンドを用いてC₂分子の回転振動温度の解析もした。超臨界プラズマをプラズマプロセスとして応用するため,ナノマテリアルの生成も研究した。種々の有機溶媒を添加した超臨界二酸化炭素プラズマの生成物を透過型電子顕微鏡で解析し,ナノからミクロンサイズの金属微粒子や棒状生成物を観測した。生成されたナノワイヤの構造解析をエネルギー分散型X線分光法(EDX),制限視野電子線回折(SAED),X線回折(XRD),Raman分光等で行った。

シソーラス用語： *プラズマ ,  *二酸化炭素 ,  *プラズマ分光 ,  発光分光法 ,  分子スペクトル ,  紫外スペクトル ,  スペクトルバンド ,  可視発光スペクトル ,  酸素 ,  赤外スペクトル ,  ナノワイヤ ,  透過型電子顕微鏡 ,  電子顕微鏡観察 ,  エネルギー分散X線分光分析 ,  X線回折 ,  ナノ構造 ,  Ramanスペクトル ,  プラズマ処理 ,  ナノ材料 ,  *超臨界二酸化炭素 ,  *RFプラズマ
準シソーラス用語： プラズマプロセシング ,  *高周波プラズマ

分類 (1件)： プラズマ診断  (BJ02090L)

引用文献 (17件)：

• T. Ito, H. Fujiwara, and K. Terashima: J. Appl. Phys., 94, 5411(2003)
• E. Lock, A. Saveliev, and L. Kennedy: IEEE Trans. Plasma Sci., 33, no.2, 850(2005)
• 渡辺敏行, 須賀陽介, 曽根正人: New Diamond, 22, 28(2006)
• T. Tomai, K. Katahira, H. Kubo, K. Terashima, Y. Shimizu, T. Sasaki, and N. Koshizaki: J. Supercrit. Fluid, 41, 404(2007)
• T. Kiyan, M. Takade, T. Namihira, M. Hara, M. Sasaki, M. Goto, H. Akiyama: IEEE Trans. Plasma Sci., 36, no.3, 821(2008)

タイトルに関連する用語 (4件)： 超臨界二酸化炭素 ,  高周波プラズマ ,  開発 ,  研究