非平衡CVD法により作製したSi<sub>1-y</sub>C<sub>y</sub>膜の構造評価

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J-GLOBAL ID：201202174940855751 整理番号：12A1395634

非平衡CVD法により作製したSi_1-yC_y膜の構造評価

著者 (5件)： , , , ,
資料名：
巻： 61st 号： 1 ページ： 336 発行年： 2000年09月03日
JST資料番号： Y0055A 資料種別：会議録 (C)
発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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