低温形成Siエピタキシャル薄膜へのC添加の試み

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J-GLOBAL ID：201202179484876018 整理番号：12A1386959

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資料名：
巻： 47th 号： 1 ページ： 409 発行年： 2000年03月28日
JST資料番号： Y0054A 資料種別：会議録 (C)
発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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