文献

J-GLOBAL ID：200902227837247124   整理番号：07A0780114

適度な傾斜形状を有するCr/Siマイクロカンチレバー構造を用いた多軸触覚センサの作製と評価

Fabrication and Characterization of Multi-axis Tactile Sensors with Reasonably Sloped Cr/Si Micro Cantilever Structures

著者 (8件)： 寒川雅之 (大阪大) ,  HUANG Yu-Ming (大阪大) ,  金島岳 (大阪大) ,  山下馨 (大阪大) ,  奥山雅則 (大阪大) ,  野田実 (京都工繊大) ,  池田正哲 (オムロン) ,  野間春生 (国際電気通信基礎技術研)
資料名： 電気学会フィジカルセンサ研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： PHS-07  号： 14-27  ページ： 47-50  発行年： 2007年07月02日 
JST資料番号： L2897B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 人間を支援する多軸触覚センサの作製と評価について述べた。近年...

シソーラス用語： クロム ,...
準シソーラス用語： シリコン ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=07A0780114&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=L2897B") }}

分類 (2件)： 計測機器一般  (AD02000X) ,  研究開発  (AA03000V)

引用文献 (6件)：

• 経済産業省: 技術戦略マップ2007(2007)
• S. Yoshida, T. Mizota, and H. Noma: “Development of an Integrated Multi-Axis Tactile Sensor: Distributed Preprocessing for Tactile Recognitions”, IEEE-Virtual Reality, Charlotte NC, USA (2007-3)
• M. Sohgawa, M. Noda, Y. M. Huang, K. Yamashita, T. Kanashima, M. Okuyama, and H. Noma: “Studies on Deflection Control of Bilayer Cantilever Fabricated by Surface Micromachining Process on SOI Wafer”, Proc.23rd Sensor Symposium, pp. 165-168, Takamatsu, Japan (2006-10).
• Y.-M. Huang, M. Sohgawa, M. Noda, K. Yamashita, M. Okuyama, and H. Noma: “Studies on Curvature Deformation Control of Bilayer Cantilever Fabricated by Surface Micromachining of SOI Wafer”, Mater. Res. Soc. Symp. Proc., Vol.969, 0969-W05-01, Boston MA, USA (2006-12)
• J. S. Pulskamp, A. Wickenden, R. Polcawich, B. Piekarski, and G. Smith: “Mitigation of residual film stress deformation in multilayer microelectromechanical systems cantilever devices”, J. Vac. Sci. Technol. B, Vol.21, No.6, pp. 2482-2486(2003-11)

タイトルに関連する用語 (8件)： 傾斜形 ,  Cr ,  Si ,  マイクロカンチレバー ,  多軸 ,  触覚センサ ,  作製 ,  評価