特許
J-GLOBAL ID:200903055804675161 表面処理方法および表面処理された物品
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (7件):
志賀 正武
, 高橋 詔男
, 渡邊 隆
, 青山 正和
, 鈴木 三義
, 西 和哉
, 村山 靖彦
公報種別:再公表公報
出願番号(国際出願番号):JP2006305982
公開番号(公開出願番号):WO2006-104043
出願日: 2006年03月24日
公開日(公表日): 2006年10月05日
要約:
水を含む液体11中の水蒸気気泡17内に発生したプラズマを、該液体11中において、水に対する接触角が90度以下である物品15に接触させる。また、プラズマを物品15に付着している有機物に接触させて、有機物を材料から除去する。プラズマを物品15に接触させることにより、物品15を破壊することなく、材料の表面をエッチングする。物品15は、水に対する接触角が90度を超える疎水性部分と90度以下の親水性部分の両方を有する材料からなっていてもよく、プラズマを物品15に接触させ疎水性部分のみをエッチングする。
請求項(抜粋):
水を含む液体中の水蒸気気泡内に発生したプラズマを、前記液体中において、水に対する接触角が90度以下である材料に接触させる表面処理方法。
IPC (3件):
B01J 19/08
, C03C 23/00
, C23F 4/00
FI (3件):
B01J19/08 E
, C03C23/00 D
, C23F4/00 Z
Fターム (15件):
4G059AA01
, 4G059BB01
, 4G075AA30
, 4G075BC06
, 4G075BD16
, 4G075CA47
, 4G075CA52
, 4G075CA65
, 4G075DA18
, 4G075EC21
, 4K057DB04
, 4K057DB05
, 4K057DB08
, 4K057DD10
, 4K057DM28
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