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J-GLOBAL ID:200903055804675161

表面処理方法および表面処理された物品

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発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (7件): 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  渡邊 隆 ,  青山 正和 ,  鈴木 三義 ,  西 和哉 ,  村山 靖彦
公報種別:再公表公報
出願番号(国際出願番号):JP2006305982
公開番号(公開出願番号):WO2006-104043
出願日: 2006年03月24日
公開日(公表日): 2006年10月05日
要約:
水を含む液体11中の水蒸気気泡17内に発生したプラズマを、該液体11中において、水に対する接触角が90度以下である物品15に接触させる。また、プラズマを物品15に付着している有機物に接触させて、有機物を材料から除去する。プラズマを物品15に接触させることにより、物品15を破壊することなく、材料の表面をエッチングする。物品15は、水に対する接触角が90度を超える疎水性部分と90度以下の親水性部分の両方を有する材料からなっていてもよく、プラズマを物品15に接触させ疎水性部分のみをエッチングする。
請求項(抜粋):
水を含む液体中の水蒸気気泡内に発生したプラズマを、前記液体中において、水に対する接触角が90度以下である材料に接触させる表面処理方法。
IPC (3件):
B01J 19/08 ,  C03C 23/00 ,  C23F 4/00
FI (3件):
B01J19/08 E ,  C03C23/00 D ,  C23F4/00 Z
Fターム (15件):
4G059AA01 ,  4G059BB01 ,  4G075AA30 ,  4G075BC06 ,  4G075BD16 ,  4G075CA47 ,  4G075CA52 ,  4G075CA65 ,  4G075DA18 ,  4G075EC21 ,  4K057DB04 ,  4K057DB05 ,  4K057DB08 ,  4K057DD10 ,  4K057DM28
引用特許:
出願人引用 (10件)
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