- 2021 - 2024 非平衡系IV族混晶薄膜の規則/不規則構造制御に基づくバンドデザイン
- 2021 - 2023 フィロ珪酸塩鉱物を起源とする新奇低次元物質創製と電子物性制御
- 2019 - 2022 原子レベルの欠陥制御に資する計算手法の開発とパワーデバイス用半導体への適用
- 2016 - 2019 実現する原子配置と材料物性値の計算手法の開発とIV族半導体結晶の高品位化への適用
- 2014 - 2019 多機能融合・省電力エレクトロニクスのためのSn系IV族半導体の工学基盤構築
- 2015 - 2018 新規IV族系二次元物質の創製
- 2015 - 2018 フェルミレベルピニング軽減による金属/ゲルマニウム系材料低抵抗コンタクト
- 2010 - 2013 省電力/超高速ナノCMOSのための電子物性設計と高移動度チャネル技術の創生
- 2009 - 2011 シリコン系エンジニアリングサブストレート実現のための材料・物性・構造制御技術
- 2006 - 2009 Geエレクトロニクスに向けた低抵抗・超平坦金属/Geコンタクト形成技術
- 2006 - 2009 ナノシステム機能化High-kゲート/歪制御ゲルマニウムチャネル構造の創成
- 2006 - 2008 非熱平衡原子固溶プロセスに基づく超高速伸張歪Geチャネルの創成
- 2004 - 2006 超均一歪場の実現に向けたIV族系半導体ヘテロ歪結晶格子の変形制御
- 2003 - 2005 IV族半導体極微細プロセスに向けた固相反応のダイナミクス制御とCエンジニアリング
- 2001 - 2003 異種材料界面制御による超低抵抗コンタクトの開発と半導体/金属界面の原子直視研究
- 1999 - 2003 人工IV族半導体極微細構造デバイス製作のための原子精度要素プロセスの開発
- 2000 - 2002 界面組成変調層を用いたサブ0.1μm世代ULSI用低抵抗コンタクト構造の研究
全件表示