牧村哲也

マキムラテツヤ | MAKIMURA Tetsuya

所属機関・部署：
職名：准教授

研究分野 (1件)：材料加工、組織制御

研究キーワード (3件)：極端紫外光 , 微細加工 , レーザーアブレーション

競争的資金等の研究課題 (4件)：

論文 (116件)：

特許 (5件)：

Photo-machining appratus and photo-machining methods for machining inorganic transparent materials using photo-patterning
軟X線加工装置及び軟X線加工法
シリコンナノパーティクルのパターニング方法及びこの方法に用いる有機分子
Photo machining apparatus and photo machining methods for machining inorganic transparent materials using photo-pattering
光パターニングによる無機透明材料を加工する光加工装置及び光加工方法

書籍 (26件)：

Handbook of Laser Micro- and Nano-Engineering
Springer Nature Switzerland AG 2020 ISBN:9783319695372
Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufactoring (LAMOM) XXIV
SPIE 2019 ISBN:9781510624528
レーザープラズマ軟X線によるシリカガラスのアブレーションメカニズム
レーザー研究 2010
レーザープラズマ軟X線アブレーションによる微細加工表面技術
表面技術 2009
2009 LASERS & ELECTRO-OPTICS & THE PACIFIC RIM CONFERENCE ON LASERS AND ELECTRO-OPTICS, VOLS 1 AND 2
IEEE 2009 ISBN:9781424438297

講演・口頭発表等 (27件)：

Micrometer-scale high-aspect machining of PDMS elastomer using laser plasma EUV radiation
(The 23th International Symposium on Laser Precision Microfabrication)
EUV ablation of polydimethylsiloxane elastomer
(Photonics West 2023)
Ablation of polydimethylsiloxane elastomer using laser-plasma EUV radiation
(16th International Conference on Laser Ablation 2022)
High-aspect micromachining of PDMS sheets using laser plasma EUV radiation
(The 22nd International Symposium on Laser Precision Microfabrication 2021)
Microfabrication of PDMS structures based on wave optics using EUV radiations from laser-produced plasma
(The 8th International Congress on Laser Advanced Materials Processing 2019)

学歴 (2件)：

経歴 (2件)：

委員歴 (1件)：

所属学会 (6件)：

電気学会 , レーザー学会 , 日本物理学会 , 応用物理学会 , ナノ学会 , 応用物理学会

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牧村 哲也