研究者
J-GLOBAL ID：201401044902289653
更新日: 2024年11月16日
菊地 貴司
キクチ タカシ | kikuchi takashi
所属機関・部署：
高エネルギー加速器研究機構 物質構造科学研究所
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職名：
専門技師
研究分野 (1件)：
薄膜、表面界面物性
競争的資金等の研究課題 (5件)：
2022 - 2025 表面窒化無酸素Ti蒸着膜の活性化温度低下のメカニズムの解明
2019 - 2022 表面科学研究に基づく高排気速度低活性化温度長寿命非蒸発型ゲッターの開発
2020 - 2021 窒素分子で表面を保護した無酸素チタンを利用した低活性化温度非蒸発型ゲッターポンプの開発
2014 - 2017 三次元網目状ジルコニウム多孔体を用いた非蒸発ゲッターポンプの開発
2017 - Pd/Tiコーティングを利用した長寿命低活性化温度大排気速度非蒸発ゲッターポンプの開発
論文 (24件)：
Yuta Sato, Takashi Kikuchi, Tetsuya Miyazawa, Shinya Ohno, Ayako Hashimoto, Misao Yamanaka, Kazuhiko Mase. Zero-length conflat fin-type nonevaporable getter pump deposited with oxygen-free palladium/titanium. Vacuum. 2023. 212. 112004-112004
狩野 悠, 小川 忠良, 矢部 学, 大島 和馬, 加藤 良浩, 小野 真聖, 吉岡 和夫, 吉川 一朗, 菊地 貴司, 間瀬 一彦. 無酸素Pd/Ti非蒸発型ゲッター(NEG)を蒸着したステンレス製ベローズの排気性能・剥離耐性の表面仕上げ依存性. 表面と真空. 2022. 65. 11. 514-519
Kenichi Ozawa, Yoshihiro Aiura, Daisuke Wakabayashi, Hirokazu Tanaka, Takashi Kikuchi, Akio Toyoshima, Kazuhiko Mase. Beamline commissioning for microscopic measurements with ultraviolet and soft X-ray beam at the upgraded beamline BL-13B of the Photon Factory. Journal of Synchrotron Radiation. 2022. 29. 2
Tetsuya Miyazawa, Yuta Sugawara, Ichiro Yoshikawa, Yuta Sato, Shinya Ohno, Tomohiro Okada, Masuaki Matsumoto, Takashi Kikuchi, Kazuhiko Mase. Surface analysis and pumping speed measurements of oxygen-free palladium/titanium nonevaporable getter after heating at 100-450 °c. Journal of Vacuum Science and Technology B: Nanotechnology and Microelectronics. 2019. 37. 6
宮澤 徹也, 栗原 真志, 大野 真也, 橋本 綾子, 中山 泰生, 小澤 健一, 菊地 貴司, 間瀬 一彦. 無酸素パラジウム/チタンを用いた新しい非蒸発型ゲッターコーティングの開発,放射光X線光電子分光による表面分析,残留ガス分析,排気速度評価. 表面と真空. 2019. 62. 9. 568-573
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MISC (90件)：
五十嵐教之, 岸本俊二, 平野馨一, 間瀬一彦, 足立純一, 杉山弘, 仁谷浩明, 若林大佑, 西村龍太郎, 鈴木芳生, et al. 放射光実験施設:基盤技術部門における放射光ビームライン技術開発に向けた取り組み. 日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム(Web). 2020. 33rd
宮澤徹也, 栗原真志, 大野真也, 寺島矢, 夏井祐人, 加藤博雄, 狩野悠, 中山泰生, 加藤良浩, 橋本綾子, et al. 新しい非蒸発ゲッター(NEG)コーティングの応用と評価. 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM). 2018. 65th. ROMBUNNO.19a-F214-11
三嶋東, 出家広大, 中野武雄, 大家渓, 菊地貴司, 間瀬一彦, 間瀬一彦. 非蒸発ゲッタポンプ用St707スパッタ合金膜の熱活性化過程におけるPdの表面修飾の効果. 表面技術協会講演大会講演要旨集. 2018. 137th. 111
宮澤 徹也, 栗原 真志, 大野 真也, 菊地 貴司, 間瀬 一彦. 無酸素パラジウム/チタン薄膜を用いた新しい非蒸発型ゲッター(NEG)コーティングの熱安定性に関するXPS研究. 表面科学学術講演会要旨集. 2018. 2018. 0
宮澤 徹也, 橋本 綾子, 山中 操, 菊地 貴司, 間瀬 一彦. 無酸素パラジウム/チタン薄膜を用いた新しい非蒸発型ゲッター(NEG)コーティングの電子顕微鏡観察. 表面科学学術講演会要旨集. 2018. 2018. 0
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特許 (8件)：
非蒸発型ゲッタコーティング部品、容器、製法、装置
非蒸発型ゲッタコーティング部品、容器、製法、装置
非蒸発型ゲッタポンプ
非蒸発型ゲッターポンプ
非蒸発型ゲッタ材、非蒸発型ゲッタモジュール、及び非蒸発型ゲッタポンプ
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経歴 (4件)：
2021/04 - 現在 高エネルギー加速器研究機構 専門技師
2010 - 高エネルギー加速器研究機構 技師
2004 - 高エネルギー加速器研究機構 技師補
1986 - 高エネルギー物理学研究所 技官
所属学会 (3件)：
日本表面真空学会
, 日本加速器学会
, 応用物理学会
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