文献

J-GLOBAL ID：200902246546548970   整理番号：08A0996357

磁場支援陽極酸化を用いたシリコンにおける100nmスケール周期構造の形成機構

Formation Mechanism of 100-nm-Scale Periodic Structures in Silicon Using Magnetic-Field-Assisted Anodization

著者 (14件)： HIPPO Daihei (Tokyo Inst. of Technol., Tokyo, JPN) ,  HIPPO Daihei (JST-SORST, Saitama, JPN) ,  NAKAMINE Yoshifumi (Tokyo Inst. of Technol., Tokyo, JPN) ,  URAKAWA Kei (Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN) ,  TSUCHIYA Yoshishige (Tokyo Inst. of Technol., Tokyo, JPN) ,  TSUCHIYA Yoshishige (Univ. Southampton, Southampton, GBR) ,  TSUCHIYA Yoshishige (JST-SORST, Saitama, JPN) ,  MIZUTA Hiroshi (Univ. Southampton, Southampton, GBR) ,  MIZUTA Hiroshi (Tokyo Inst. of Technol., Tokyo, JPN) ,  MIZUTA Hiroshi (JST-SORST, Saitama, JPN) ,  KOSHIDA Nobuyoshi (Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN) ,  KOSHIDA Nobuyoshi (JST-SORST, Saitama, JPN) ,  ODA Shunri (Tokyo Inst. of Technol., Tokyo, JPN) ,  ODA Shunri (JST-SORST, Saitama, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 47  号： 9 Issue 1  ページ： 7398-7402  発行年： 2008年09月25日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 磁場支援陽極酸化を用いた,間隙壁にスパイキングの無いアスペクト比160の直径100nmのシリコンにおける高指向性エッチングを実証した。シリコン電極の表面形状とその高指向性エッチング特性との間の関係を研究した。とくに,間隙形状及び間隙壁配向が,表面パターンによってはではなく,磁場支援陽極酸化に特殊なエッチング機構により決定されることを示した。これらのエッチング機構は,100nmスケール以下の直径での高指向性及び高アスペクト比エッチングを可能にした。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *間隙 ,  *周期構造 ,  *ケイ素 ,  アノード酸化 ,  エッチング ,  *アスペクト比 ,  形態 ,  壁
準シソーラス用語： *磁場支援陽極酸化 ,  陽極酸化 ,  *指向性エッチング ,  形状

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (18件)：

• V. Lehmann and H. Foll: J. Electrochem. Soc.137(1990)653.
• V. Lehmann: J. Electrochem. Soc.140(1993)2836.
• G. J. Parker, M. D. B. Charlton, M. E. Zoorob, J. J. Baumberg, M. C. Netti, and T. Lee: Philos. Trans. R. Soc., Ser. A 364(2006)189.
• A. Birner, R. B. Wehrspohn, U. Gösele, and K. Busch: Adv. Mater.13(2001)377.
• S. Matthias, F. Muller, C. Jamois, R. B. Wehrspohn, and U. Gösele: Adv. Mater.16(2004)2166.

タイトルに関連する用語 (5件)： 磁場 ,  支援 ,  陽極酸化 ,  シリコン ,  周期構造