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J-GLOBAL ID：200902284804546502   整理番号：08A0448710

アカデミックロードマップ「シリコン技術」

著者 (21件)： 平本俊郎 (東大) ,  須田良幸 (東京農工大) ,  鳥海明 (東大) ,  宮崎誠一 (広島大) ,  辰巳哲也 (ソニー) ,  上野和良 (芝浦工大) ,  小田俊理 (東京工大) ,  廣瀬和之 (宇宙科研) ,  松井真二 (兵庫県大) ,  水野文二 (UJTラボ) ,  新宮原正三 (関西大) ,  小田中紳二 (大阪大) ,  一木隆範 (東大) ,  高橋庸夫 (北大) ,  浦岡行治 (奈良先端科学技術大学院大) ,  芝原健太郎 (広島大) ,  久本大 (日立) ,  石田誠 (豊橋技科大) ,  羽根一博 (東北大) ,  小野崇人 (東北大) ,  高村禅 (北陸先端科学技術大学院大)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 55th  号： 0  ページ： TOKUBETSU1  発行年： 2008年03月27日 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： ケイ素 ,  *技術開発 ,  *半導体プロセス ,  予測 ,  CMOS構造 ,  MEMS ,  MOS構造

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (2件)： アカデミックロードマップ ,  シリコン