微細成形モールドの製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：吉田大 , 岩上渉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-224660
公開番号（公開出願番号）：特開2008-044328
出願日： 2006年08月21日
公開日（公表日）： 2008年02月28日
要約：

【課題】硬度が高く、凹凸を構成する要素面の平滑度が高い微細成形モールドを製造する。【解決手段】犠牲モールドの表面に凹凸領域を形成し、微細成形モールドの成形面を構成する皮膜を前記凹凸領域上に堆積させ、前記皮膜の上に前記皮膜より硬度が低く前記微細成形モールドの内部層を構成する基膜を前記皮膜より厚く堆積させ、前記犠牲モールドを除去することにより前記微細成形モールドの前記成形面を形成する、ことを含む微細成形モールドの製造方法。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

犠牲モールドの表面に凹凸領域を形成し、微細成形モールドの成形面を構成する皮膜を前記凹凸領域上に堆積させ、前記皮膜の上に前記皮膜より硬度が低く前記微細成形モールドの内部層を構成する基膜を前記皮膜より厚く堆積させ、前記犠牲モールドを除去することにより前記微細成形モールドの前記成形面を形成する、ことを含む微細成形モールドの製造方法。

IPC (3件)：

B29C 33/38 , B29C 59/02 , H01L 21/027

FI (3件)：

B29C33/38 , B29C59/02 B , H01L21/30 502D

Fターム (26件)：

4F202AG05 , 4F202AJ02 , 4F202AJ06 , 4F202AJ09 , 4F202AJ12 , 4F202CA19 , 4F202CB01 , 4F202CD02 , 4F202CD07 , 4F202CD23 , 4F202CD24 , 4F209AA44 , 4F209AF01 , 4F209AG03 , 4F209AG05 , 4F209AH33 , 4F209AJ02 , 4F209AJ08 , 4F209PA02 , 4F209PB01 , 4F209PC01 , 4F209PC05 , 4F209PN06 , 4F209PN09 , 4F209PQ11 , 5F046AA28

引用特許：

出願人引用 (11件)

射出成形用金型およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-268529 出願人：キヤノン株式会社
細緻構造を有する成形型およびそれを用いたシートの成形方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-281543 出願人：凸版印刷株式会社
硬化ナノインプリントスタンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-364008 出願人：ヒューレット-パッカードデベロップメントカンパニーエル.ピー.

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審査官引用 (8件)

マイクロ部品用金型およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-271637 出願人：三原豊, 橋口原, 大平文和, 吉村英徳, 株式会社アドバネクス, アオイ電子株式会社
フッ素樹脂コート部材、そのコート部材からなるポリエステル容器用金型及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-393189 出願人：東洋製罐株式会社
特開昭62-290871

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