特許
J-GLOBAL ID:200903000139442836

ターボ分子ポンプの電源装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 永井 冬紀
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-240815
公開番号(公開出願番号):特開2006-057547
出願日: 2004年08月20日
公開日(公表日): 2006年03月02日
要約:
【課題】 新しいポンプ制御プログラムによるポンプ本体の制御に容易に対応することができるターボ分子ポンプの電源装置。【解決手段】 CPU10で処理されるプログラムは、互いに独立した機種依存プログラム(ポンプ制御プログラム)とローダプログラムとから成る。機種依存プログラムは、励磁アンプ11およびインバータ12を制御するためのプログラムである。ローダプログラムは、不揮発性メモリ13に格納されている機種依存プログラムを通信ポート17を介してPCから送信された機種依存プログラムで書き換えるためのプログラムである。LCD/スイッチ15により書き換えモードに設定されると、機種依存プログラムの書き換えが行われる。同一の電源装置2であっても、機種依存プログラムの書き換えを行うことにより種々のポンプ本体1に対応することができる。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
ポンプ本体の機種および使用状況によって異なるポンプ制御プログラムと、前記ポンプ制御プログラムを書き換えるためのローダプログラムとが格納される書き換え可能なメモリと、 前記ポンプ制御プログラムにより前記ポンプ本体の駆動制御が実行される運転モードと、前記ローダプログラムにより前記メモリに格納されたポンプ制御プログラムの書き換え動作が実行される書き換えモードとを選択する選択手段と、 外部装置からポンプ制御プログラムが入力される入力部と、 前記書き換えモード時に、前記ローダプログラムに基づいて前記入力部を介して前記外部装置からポンプ制御プログラムを読み込み、前記メモリに格納されたポンプ制御プログラムを前記読み込まれたポンプ制御プログラムで書き換える書き換え手段とを備えたことを特徴とするターボ分子ポンプの電源装置。
IPC (3件):
F04D 19/04 ,  F04B 49/06 ,  F04D 27/00
FI (4件):
F04D19/04 H ,  F04B49/06 331A ,  F04B49/06 341J ,  F04D27/00 C
Fターム (33件):
3H021AA02 ,  3H021BA01 ,  3H021BA11 ,  3H021BA18 ,  3H021CA09 ,  3H021CA10 ,  3H021DA00 ,  3H021EA03 ,  3H021EA12 ,  3H031DA02 ,  3H031EA11 ,  3H031EA12 ,  3H031FA41 ,  3H045AA06 ,  3H045AA09 ,  3H045AA13 ,  3H045AA25 ,  3H045AA31 ,  3H045BA02 ,  3H045BA28 ,  3H045BA31 ,  3H045BA40 ,  3H045CA23 ,  3H045CA28 ,  3H045CA30 ,  3H045DA00 ,  3H045DA47 ,  3H045EA04 ,  3H045EA38 ,  3H131AA02 ,  3H131BA11 ,  3H131BA12 ,  3H131CA41
引用特許:
出願人引用 (2件) 審査官引用 (3件)

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