特許
J-GLOBAL ID：200903000307914471
インプリント装置およびインプリント方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
奥田 律次
, 五丁 龍志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-335093
公開番号（公開出願番号）：特開2009-154393
出願日： 2007年12月26日
公開日（公表日）： 2009年07月16日
要約：
【課題】 型と被成型物の間に圧力を均一に加えることができると共に、高速に昇降温することができるインプリント装置及びインプリント方法を提供すること【解決手段】 型100のパターンをフィルム状の被成型物200に転写するためのインプリント装置1であって、型100を保持するためのステージ11と、被成型物200と共に加圧室12を構成する加圧室用筐体13と、加圧室用筐体13と被成型物200との間を密閉する密閉手段14と、加圧室用筐体13と被成型物200との間を開閉する開閉手段15と、加圧室12内の気圧を調節する加圧手段16と、被成型物200を加熱するための加熱手段17と、型100と被成型物200の間の気体を除去する脱気手段18と、を具備するインプリント装置1。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
型のパターンをフィルム状の被成型物に転写するためのインプリント装置であって、
前記型を保持するためのステージと、
前記被成型物と共に加圧室を構成する加圧室用筐体と、
前記加圧室用筐体と前記被成型物との間を密閉する密閉手段と、
前記加圧室用筐体と前記被成型物との間を開閉する開閉手段と、
前記加圧室内の気圧を調節する加圧手段と、
前記被成型物を加熱するための加熱手段と、
を具備することを特徴とするインプリント装置。
IPC (3件)：
B29C 59/02
, H01L 21/027
, B81C 5/00
B29C59/02 B
, H01L21/30 502D
, B81C5/00
3C081CA37
, 4F209AF01
, 4F209AG05
, 4F209AH33
, 4F209AH73
, 4F209AJ05
, 4F209AJ08
, 4F209AJ09
, 4F209AK03
, 4F209AK08
, 4F209AM28
, 4F209PA02
, 4F209PB01
, 4F209PC01
, 4F209PC05
, 4F209PN03
, 4F209PN04
, 4F209PN06
, 4F209PN09
, 4F209PQ11
, 5F046AA28
出願人引用 (2件)
審査官引用 (7件)
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