搬送装置及び真空処理装置並びに常圧搬送装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：金坂憲幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-045848
公開番号（公開出願番号）：特開2004-265947
出願日： 2003年02月24日
公開日（公表日）： 2004年09月24日
要約：

【課題】搬送効率の向上を図る。【解決手段】下方に基部を有し、その先端が垂直面上を移動可能な2つの移動台駆動機構9A,9Bと、各移動台駆動機構9A,9Bの先端にそれぞれ他方の移動台駆動機構9B,9A側へ延出して設けられ水平状態で上下方向及び第1水平方向に移動可能で且つ上下方向において互いに位置交換が可能な2つの移動台18A,18Bと、各移動台18A,18B上に設けられ基板wの移載を行う伸縮可能な移載機構19A,19Bと、該移載機構19A,19Bを有する2つの移動台18A,18Bが共通空間を移動する際に互いに干渉しないように各移動台駆動機構9A,9Bの移動を制御する制御手段20とを備えている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

下方に基部を有し、その先端が垂直面上を移動可能な2つの移動台駆動機構と、各移動台駆動機構の先端にそれぞれ他方の移動台駆動機構側へ延出して設けられ水平状態で上下方向及び第1水平方向に移動可能で且つ上下方向において互いに位置交換が可能な2つの移動台と、各移動台上に設けられ基板の移載を行う伸縮可能な移載機構と、該移載機構を有する2つの移動台が共通空間を移動する際に互いに干渉しないように各移動台駆動機構の移動を制御する制御手段とを備えたことを特徴とする搬送装置。

IPC (3件)：

H01L21/68 , B65G49/00 , B65G49/07

FI (3件)：

H01L21/68 A , B65G49/00 A , B65G49/07 C

Fターム (29件)：

5F031CA02 , 5F031FA01 , 5F031FA07 , 5F031FA11 , 5F031FA12 , 5F031FA15 , 5F031GA02 , 5F031GA35 , 5F031GA43 , 5F031GA45 , 5F031GA47 , 5F031GA48 , 5F031GA49 , 5F031GA50 , 5F031JA01 , 5F031JA14 , 5F031JA22 , 5F031LA08 , 5F031LA16 , 5F031LA18 , 5F031MA02 , 5F031MA03 , 5F031MA04 , 5F031MA13 , 5F031NA07 , 5F031NA18 , 5F031PA02 , 5F031PA06 , 5F031PA11

引用特許：

審査官引用 (9件)

基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-212275 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
基板処理装置、基板搬送装置、および基板処理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-026703 出願人：国際電気株式会社
特開昭63-029811

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