特許
J-GLOBAL ID：200903001167841300

電子機能素子

発明者：
古賀 淳二

古賀 淳二 について


出願人/特許権者：
株式会社東芝

株式会社東芝 について


代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-318154
公開番号（公開出願番号）：特開平11-150261
出願日： 1997年11月19日
公開日（公表日）： 1999年06月02日
要約：
【要約】【課題】 量子ドット等のサイズや位置を制御でき、特性のばらつきが抑制された素子を得る。【解決手段】 基板表面側に形成された少なくとも一つの段差7と、この段差7の側壁部に形成された量子ドット1と、この量子ドット1に流れる電流を制御する制御電極2とを有し、量子ドット1に流れる電流は単一電子トンネル効果に基づいて制御される。
請求項（抜粋）：
基板表面側に形成された少なくとも一つの段差と、この段差の側壁部に形成された被制御領域と、この被制御領域に流れる電流を制御する制御電極とを有することを特徴とする電子機能素子。
IPC (6件)：
H01L 29/66 ,  H01L 27/10 451 ,  H01L 29/06 ,  H01L 21/8247 ,  H01L 29/788 ,  H01L 29/792
FI (4件)：
H01L 29/66 ,  H01L 27/10 451 ,  H01L 29/06 ,  H01L 29/78 371
引用特許：
審査官引用 (9件)
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