特許
J-GLOBAL ID：200903001295080789

欠陥分類方法及びその装置並びに欠陥検査装置

発明者：
渋谷 久恵

渋谷 久恵 について

, 
前田 俊二

前田 俊二 について

, 
浜松 玲

浜松 玲 について


出願人/特許権者：
株式会社日立ハイテクノロジーズ

株式会社日立ハイテクノロジーズ について


代理人 (1件)： ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-262083
公開番号（公開出願番号）：特開2008-082821
出願日： 2006年09月27日
公開日（公表日）： 2008年04月10日
要約：
【課題】欠陥分類において、ルールベース型の欠陥分類は、全てを手動で設定するのは困難であるという課題があった。【解決手段】欠陥検査装置から取得される検出信号を基に抽出される欠陥の特徴量に基づいて二分木構造の分類器を用いて欠陥を分類する欠陥分類方法であって、予め欠陥クラスと対応付けられた特徴量データとの教示に基づいて、二分木構造の分岐点毎に、分岐の両側のグループにそれぞれ属する欠陥クラス、分岐に使用する特徴量および判別基準からなる分岐条件を設定することにより前記二分木構造の分類器を構築する分類器構築過程を有し、該分類器構築過程において、さらに予め欠陥クラス毎並びに全体および最悪のピュリティおよびアキュラシーの目標分類性能について優先順位をつけて指定しておく優先順位指定過程と、前記設定した分岐条件による前記指定した目標分類性能を満足するか否かを項目毎に評価して該項目毎の評価結果を表示する評価過程とを含むことを特徴とする。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
欠陥検査装置から取得される検出信号を基に抽出される欠陥の特徴量に基づいて二分木構造の分類器を用いて欠陥を分類する欠陥分類方法であって、 予め欠陥クラスと対応付けられた特徴量データとの教示に基づいて、二分木構造の分岐点毎に、分岐の両側のグループにそれぞれ属する欠陥クラス、分岐に使用する特徴量および判別基準からなる分岐条件を設定することにより前記二分木構造の分類器を構築する分類器構築過程を有することを特徴とする欠陥分類方法。
IPC (1件)：
G01N 21/956
FI (1件)：
G01N21/956 A
Fターム (12件)：
2G051AA51 ,  2G051AA56 ,  2G051AB02 ,  2G051CA04 ,  2G051CB05 ,  2G051DA07 ,  2G051EB01 ,  2G051EB09 ,  2G051EC01 ,  2G051EC02 ,  2G051ED21 ,  2G051FA01
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (7件)
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