基板搬送方法及び該方法を使用する露光装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大森聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-125203
公開番号（公開出願番号）：特開平10-321691
出願日： 1997年05月15日
公開日（公表日）： 1998年12月04日
要約：

【要約】【課題】ウエハローダ系から露光装置にウエハ等の基板を搬送する際に、その露光装置とそのウエハローダ系の位置決め部とが相対変位する場合でも、その露光装置側にその基板を所定の位置関係で受け渡す。【解決手段】ウエハローダ系2の位置決めステージ25上でウエハW1の位置及び回転角を所定の状態に設定した後、固定部材26A〜26Cによって位置決めしたスライダアーム24上にウエハW1を受け渡す。ウエハローダ系2のベース21上に回転自在にスライダレール23を取り付け、スライダアーム24をスライダレール23に沿って投影露光装置1まで搬送した後、固定部材10A〜10Cによって位置決めしたスライダアーム24からウエハW1をウエハ上下ピン9上に受け渡し、更にウエハW1をウエハホルダ8上に載置する。

請求項（抜粋）：

処理対象の基板に対して所定の処理を施す基板処理装置と、前記基板の位置決めを行う位置決め装置との間で前記基板を搬送する基板搬送方法において、前記基板を保持して、前記基板処理装置と前記位置決め装置との間で移動する基板保持部材を使用し、前記位置決め装置において、前記基板保持部材に前記基板を載置する際に前記基板保持部材を所定の位置に位置決めしておき、前記基板保持部材から前記基板処理装置に前記基板を受け渡す際に、前記基板処理装置の所定の位置に前記基板保持部材を位置決めしておくことを特徴とする基板搬送方法。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , H01L 21/027

FI (2件)：

H01L 21/68 A , H01L 21/30 520 A

引用特許：

審査官引用 (10件)

特開平2-262991
半導体露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-160480 出願人：富士通株式会社
基板の位置決め装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-087339 出願人：株式会社ニコン

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