空検出機能付きライナ式液体保存・分配システム

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：稲葉良幸 , 大賀眞司 , 大貫敏史
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-509107
公開番号（公開出願番号）：特表2008-539078
出願日： 2006年04月25日
公開日（公表日）： 2008年11月13日
要約：

【課題】徴候型電子デバイス製品の製造に使用される高純度液体試薬及び化学機械的研磨組成等の化学試薬及び組成を保存し、分配するために、分配作業中に閉じ込められた液体が涸渇するか、涸渇に近づいている場合、空の状態又はほぼ空の状態を検出する機能を有する流体供給システムを提供する。【解決手段】ディスペンサから分配された材料を使用する下流のツールへの材料を流すために、供給パッケージとサーボ油圧分配ポンプの中間で分配された材料を監視するか、周期的なスケジュールで補給されているディスペンサ内で、ディスペンサ室の補給時間を監視する圧力変換器を含む、空検出構成を使用する流体送出システムである。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

内容積を有する容器と、ゼロ又はほぼゼロの頭隙構造で液体媒体を閉じ込めるように構成された、前記内容積内のライナと、分配作業中に前記ライナから液体媒体を抜き取るために、前記容器と係合するような構成である分配アセンブリと、分配作業中に前記ライナから抜き取られる前記液体媒体を監視し、空の状態又はほぼ空の状態が発生すると、それに相関する出力を生成するように構成された内蔵流量計と、を備える、流体保存・分配システム。

IPC (1件)：

B01J 4/02

FI (1件)：

B01J4/02 B

Fターム (10件)：

4G068AA02 , 4G068AA03 , 4G068AB15 , 4G068AC05 , 4G068AC17 , 4G068AD40 , 4G068AE01 , 4G068AE02 , 4G068AF01 , 4G068AF31

引用特許：

審査官引用 (10件)

液体状化学薬品の分配方法並びにシステム
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-267241 出願人：レール・リキード・ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード
潅注制御システム
公報種別：公表公報出願番号：特願2001-504432 出願人：アルコンラボラトリーズ,インコーポレイティド
複数の化学物質をプロセス・ツールに供給するシステム
公報種別：公表公報出願番号：特願2000-557100 出願人：アドバンスト・デリバリー・アンド・ケミカル・システムズ・リミテッド

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