機能性酸化物構造体、及び機能性酸化物構造体の製造方法

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出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：柳田征史 , 佐久間剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-052318
公開番号（公開出願番号）：特開2009-208985
出願日： 2008年03月03日
公開日（公表日）： 2009年09月17日
要約：

【課題】正方晶系の結晶構造を有する膜厚500nm以上の、(001)単一配向の機能性酸化物膜を備えた機能性酸化物構造体を提供する。【解決手段】機能性酸化物構造体1は、基板10上に、膜厚が500nm以上の正方晶系の結晶系を有する機能性酸化物膜30が成膜されたものであって、機能性酸化物膜30が、(001)単一配向の結晶配向性を有することを特徴とするものである。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板上に、膜厚が500nm以上の正方晶系の結晶系を有する機能性酸化物膜が成膜された機能性酸化物構造体において、前記機能性酸化物膜が、(001)単一配向の結晶配向性を有することを特徴とする機能性酸化物構造体。

IPC (15件)：

C30B 29/32 , C23C 14/08 , C23C 14/54 , C23C 16/40 , C23C 16/52 , H01L 41/18 , H01L 41/09 , H01L 41/24 , H01L 41/22 , H01L 41/08 , H01L 21/824 , H01L 27/105 , G02F 1/03 , G02F 1/355 , H01L 21/316

FI (14件)：

C30B29/32 D , C23C14/08 K , C23C14/54 D , C23C16/40 , C23C16/52 , H01L41/18 101Z , H01L41/08 L , H01L41/22 A , H01L41/22 Z , H01L41/08 Z , H01L27/10 444C , G02F1/03 501 , G02F1/355 501 , H01L21/316 X

Fターム (63件)：

2H079AA02 , 2H079AA12 , 2H079DA02 , 2K002BA01 , 2K002CA02 , 2K002FA02 , 2K002GA07 , 2K002HA13 , 4G077AA03 , 4G077AB02 , 4G077AB03 , 4G077AB10 , 4G077BC34 , 4G077BC36 , 4G077BC38 , 4G077BC41 , 4G077BC42 , 4G077BC43 , 4G077BC47 , 4G077BC48 , 4G077BC50 , 4G077BC60 , 4G077DA11 , 4G077DB08 , 4G077ED06 , 4G077HA01 , 4G077HA11 , 4K029AA04 , 4K029AA06 , 4K029AA24 , 4K029BA50 , 4K029BB09 , 4K029CA05 , 4K029EA01 , 4K029EA08 , 4K030BA42 , 4K030BB02 , 4K030CA04 , 4K030CA05 , 4K030CA12 , 4K030FA10 , 4K030JA01 , 4K030JA10 , 5F058BA20 , 5F058BC03 , 5F058BF06 , 5F058BF12 , 5F083FR00 , 5F083GA11 , 5F083GA27 , 5F083HA10 , 5F083JA13 , 5F083JA14 , 5F083JA15 , 5F083JA36 , 5F083JA37 , 5F083JA38 , 5F083JA39 , 5F083JA43 , 5F083JA44 , 5F083JA45 , 5F083PR21 , 5F083PR22

引用特許：

審査官引用 (6件)

アナターゼ型結晶構造の酸化チタン単結晶薄膜の作製法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-213765 出願人：日本原子力研究所
機能性酸化物構造体
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-052319 出願人：富士フイルム株式会社, 国立大学法人東京工業大学
圧電体、圧電体素子、それを用いた液体吐出ヘッド、液体吐出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-227071 出願人：キヤノン株式会社

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