特許
J-GLOBAL ID：200903069181932924
機能性酸化物構造体
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
柳田 征史
, 佐久間 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-052319
公開番号（公開出願番号）：特開2009-212225
出願日： 2008年03月03日
公開日（公表日）： 2009年09月17日
要約：
【課題】正方晶系の結晶構造を有する機能性酸化物膜を備えた機能性酸化物構造体において、機能性酸化物膜を(001)優先配向とする。【解決手段】機能性酸化物構造体1は、基板10上に、正方晶系の結晶構造を有する機能性酸化物膜30を備えた機能性酸化物構造体であって、基板10がフッ化カルシウムを主成分とするものであり、基板10の熱膨張係数αsub(°C-1)より機能性酸化物膜30の熱膨張係数αfilm(°C-1)が小さいことを特徴としている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板上に、正方晶系の結晶構造を有する機能性酸化物膜を備えた機能性酸化物構造体であって、
前記基板がフッ化カルシウムを主成分とするものであり、
該基板の熱膨張係数より前記機能性酸化物膜の熱膨張係数が小さいことを特徴とする機能性酸化物構造体。
IPC (4件)：
H01L 41/09
, H01L 21/824
, H01L 27/105
, H01L 41/187
H01L41/08 C
, H01L27/10 444C
, H01L41/18 101B
, H01L41/18 101D
5F083FR01
, 5F083GA27
, 5F083HA10
, 5F083JA14
, 5F083JA15
, 5F083JA38
, 5F083JA45
