特許
J-GLOBAL ID：200903003237931054

検査装置

発明者：
小松 宏一郎

小松 宏一郎 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (2件)： 古谷 史旺 ,  森 俊秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-296654
公開番号（公開出願番号）：特開2006-105926
出願日： 2004年10月08日
公開日（公表日）： 2006年04月20日
要約：
【課題】 照明光の分光特性が変化しても、被検物体の表面の欠陥を正確に検出できる検査装置を提供する。【解決手段】 光源11からの照明光を被検物体10Aに照射する照明手段12〜18と、照明光が照射された被検物体の像を形成する結像手段17〜19と、被検物体の像を複数の色成分に分解して各色成分ごとに撮像する撮像手段20と、照明光を複数の色成分に分解して各色成分ごとに検知する検知手段21〜24とを備える。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
光源からの照明光を被検物体に照射する照明手段と、 前記照明光が照射された前記被検物体の像を形成する結像手段と、 前記被検物体の像を複数の色成分に分解して各色成分ごとに撮像する撮像手段と、 前記照明光を複数の色成分に分解して各色成分ごとに検知する検知手段とを備えた ことを特徴とする検査装置。
IPC (4件)：
G01N 21/956 ,  G01B 11/30 ,  G01J 3/50 ,  H01L 21/66
FI (4件)：
G01N21/956 A ,  G01B11/30 A ,  G01J3/50 ,  H01L21/66 J
Fターム (51件)：
2F065AA49 ,  2F065BB02 ,  2F065CC19 ,  2F065CC25 ,  2F065EE00 ,  2F065FF41 ,  2F065GG02 ,  2F065GG24 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL12 ,  2F065LL20 ,  2F065LL21 ,  2F065LL30 ,  2F065LL47 ,  2F065NN16 ,  2F065QQ00 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ23 ,  2G020AA08 ,  2G020CB26 ,  2G020CB43 ,  2G020CC26 ,  2G020CD39 ,  2G020DA05 ,  2G020DA13 ,  2G020DA22 ,  2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051BA08 ,  2G051BB03 ,  2G051BB07 ,  2G051BB09 ,  2G051CA01 ,  2G051CA04 ,  2G051CA07 ,  2G051CC07 ,  2G051CC11 ,  2G051CC15 ,  2G051EA17 ,  4M106AA01 ,  4M106CA38 ,  4M106DB04 ,  4M106DB15 ,  4M106DB19 ,  4M106DB21 ,  4M106DJ11
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (9件)
  • 分光測色装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-282854   出願人：株式会社島津製作所
  • 光学的測定装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-279912   出願人：豊田工機株式会社, 清野慧
  • 色彩計及び色彩計の測色方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-035603   出願人：ジューキ株式会社
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