特許
J-GLOBAL ID：200903003653767751

微小熱分析用プローブおよび微小熱分析装置ならびに微小熱分析方法

発明者：
中別府 修

中別府 修 について


出願人/特許権者：
国立大学法人東京工業大学

国立大学法人東京工業大学 について


代理人 (1件)： 磯野 道造
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-296994
公開番号（公開出願番号）：特開2006-105935
出願日： 2004年10月08日
公開日（公表日）： 2006年04月20日
要約：
【課題】 ナノグラムオーダーの微量な試料を高速かつ高分解能で熱分析できる微小熱分析用プローブおよび微小熱分析装置ならびに微小熱分析方法を提供することを目的とする。【解決手段】 基板と、前記基板上に微細加工法によって形成された熱分析部を備える微小熱分析用プローブであって、前記熱分析部は、前記基板上に形成された試料加熱部と、前記試料加熱部に近接して形成された薄膜状発熱体からなる主加熱ヒータ部と、前記試料加熱部と主加熱ヒータ部との間に介設された薄膜状熱電対からなる温度測定部と、を含むことを特徴とする微小熱分析用プローブ。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板と、前記基板上に微細加工法によって形成された熱分析部を備える微小熱分析用プローブであって、 前記熱分析部は、 前記基板上に形成された試料加熱部と、 前記試料加熱部に近接して形成された薄膜状発熱体からなる主加熱ヒータ部と、 前記試料加熱部と主加熱加熱ヒータ部との間に介設された薄膜状熱電対からなる温度測定部と、 を含むことを特徴とする微小熱分析用プローブ。
IPC (2件)：
G01N 25/20 ,  G01N 25/00
FI (2件)：
G01N25/20 D ,  G01N25/00 K
Fターム (14件)：
2G040AB12 ,  2G040BA25 ,  2G040CA02 ,  2G040DA03 ,  2G040DA12 ,  2G040DA21 ,  2G040EA02 ,  2G040EA13 ,  2G040EB02 ,  2G040EC08 ,  2G040EC09 ,  2G040FA01 ,  2G040HA06 ,  2G040ZA02
引用特許：
審査官引用 (7件)
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