特許
J-GLOBAL ID：200903003756322855
先端被覆ナノチューブ、走査型顕微鏡用先端被覆プローブ、これを用いた加工装置及び加工方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
三木 久巳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-107058
公開番号（公開出願番号）：特開2006-267113
出願日： 2006年04月10日
公開日（公表日）： 2006年10月05日
要約：
【目的】本発明は、ナノチューブ先端に所望の機能を付与すると共に、このナノチューブを探針として用いた走査型顕微鏡用探プローブ、これを用いた加工装置及び加工方法を提供することを目的とする。【構成】本発明は、ナノチューブ12の少なくとも一方の先端22aにコーティング膜22を形成して構成されることを特徴とし、本発明に係る走査型顕微鏡用先端被覆プローブ20は、先端被覆ナノチューブの基端部16が走査型顕微鏡用のカンチレバー4に固定されて構成されることを特徴とする。本発明に係る加工装置は、走査型顕微鏡用先端被覆プローブ20と、このプローブ20と試料24間に電圧を印加する電源26から構成され、前記コーティング膜22を金属膜で形成して金属源とし、この金属源と試料間に電圧を印加して、前記ナノチューブ先端から試料表面24aに金属原子をイオン放出することを特徴とする。【選択図】図7
請求項（抜粋）：
ナノチューブの少なくとも一方の先端にコーティング膜を形成して構成されることを特徴とする先端被覆ナノチューブ。
IPC (6件)：
G01N 13/16
, G01N 13/10
, G12B 21/08
, B82B 1/00
, B82B 3/00
, G12B 21/02
G01N13/16 C
, G01N13/10 F
, G12B1/00 601D
, B82B1/00
, B82B3/00
, G12B1/00 601A
出願人引用 (2件)
審査官引用 (9件)
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