特許
J-GLOBAL ID：200903004059879902
多相交流プラズマ発生装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
牧 哲郎
, 牧 レイ子
, 菊谷 公男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-125748
公開番号（公開出願番号）：特開2006-302783
出願日： 2005年04月22日
公開日（公表日）： 2006年11月02日
要約：
【課題】多電極と多相交流電源との接続が容易で、比較的簡単な電極構造で放電時における電極間の絶縁性を保つことができる多相交流プラズマ発生装置を提供する。【解決手段】装置本体4の中に、チャンバ10と電源装置14等を備えいる。チャンバ10の開口部6が位置した側には、本体4に対して上下にスライド自在に設けられた扉16が取り付けられている。扉16の外側から内側に貫通して環状に複数配置されたコンタクトプローブ22が取り付けられている。多孔円筒金属籠26と、それを同心状に囲む複数の分割電極30を一体的に備えて成る放電ユニット32が設けられている。複数の分割電極30の扉側端部には、扉16のコンタクトプローブ22の端子用接点12と当接可能に、分割電極端子である給電子34が固定されている。各分割電極30は、多孔円筒金属籠26の外周に位置して、支持部材36により多孔円筒金属籠26に固定されている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
入口を密閉する扉の付いたチャンバと、
このチャンバ内に格納する被処理材料を入れるための導体籠と、
この導体籠の外周に放射状に取り付けたn組の支持部材と、
このn組の支持部材に支持されて前記導体籠の外周を僅かな間隙を設けて同心状に囲む板状に形成したn枚の分割電極と、
このn枚の分割電極と導体籠の入口側端部に取り付けたn+1個の受電端子と、
前記扉の裏側に取り付けて扉の閉鎖時にn+1個の受電端子と1対1に結合するn+1個の給電端子と、
このn+1個の給電端子に各相成分と中性点を接続する多相交流電源と、
を備えてなることを特徴とする多相交流プラズマ発生装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (12件)：
4G075AA24
, 4G075AA30
, 4G075BA05
, 4G075BA10
, 4G075BC02
, 4G075CA15
, 4G075CA47
, 4G075DA02
, 4G075EA02
, 4G075EB01
, 4G075EC21
, 4G075EE02
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (9件)
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特開平4-293784
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プラズマ処理装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平4-134849
出願人：株式会社ダイヘン
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プラズマ発生方法およびその装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-072669
出願人：松下電器産業株式会社
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