特許
J-GLOBAL ID:200903004576066644
熱処理装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
小谷 悦司
, 伊藤 孝夫
, 樋口 次郎
, 玉串 幸久
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-125730
公開番号(公開出願番号):特開2008-039376
出願日: 2007年05月10日
公開日(公表日): 2008年02月21日
要約:
【課題】昇華物が導出ダクト内で堆積することを抑制することができる熱処理装置を提供する。【解決手段】熱処理装置1Aは、熱処理部21内に被処理物Wが収容された状態で、熱処理部21内の空気を循環させながら加熱することにより被処理物Wを熱処理するとともに、外気を加熱して熱処理部21内に送り込みつつ熱処理部21内の空気を導出ダクト5内に流出させることにより熱処理部21内を換気するものである。前記導出ダクト5には、被処理物Wを熱処理する際に当該被処理物から発生する昇華物を分解可能な触媒6が設けられている。【選択図】図1
請求項(抜粋):
熱処理部内に被処理物が収容された状態で、前記熱処理部内の空気を循環させながら加熱することにより前記被処理物を熱処理するとともに、外気を加熱して前記熱処理部内に送り込みつつ前記熱処理部内の空気を導出ダクト内に流出させることにより前記熱処理部内を換気する熱処理装置において、
前記導出ダクトには、前記被処理物を熱処理する際に当該被処理物から発生する昇華物を分解可能な触媒が設けられていることを特徴とする熱処理装置。
IPC (3件):
F27D 17/00
, F27D 7/04
, F27D 7/02
FI (4件):
F27D17/00 104G
, F27D7/04
, F27D7/02 A
, F27D17/00 101A
Fターム (14件):
4K056AA09
, 4K056BB06
, 4K056CA10
, 4K056CA18
, 4K056DA02
, 4K056DA22
, 4K056DA36
, 4K056DB02
, 4K063AA05
, 4K063BA12
, 4K063CA05
, 4K063DA06
, 4K063DA24
, 4K063DA26
引用特許:
出願人引用 (1件)
審査官引用 (26件)
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プラズマディスプレイパネルの製造方法及びその装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-208631
出願人:富士通日立プラズマディスプレイ株式会社
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熱処理炉の送気方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-188105
出願人:大同特殊鋼株式会社
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クリーンオーブン及びその使用方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-296897
出願人:鹿児島日本電気株式会社
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基板焼成炉の給排気システム
公報種別:公開公報
出願番号:特願2006-173910
出願人:株式会社フューチャービジョン, 光洋サーモシステム株式会社
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特開昭52-094869
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特開昭52-094869
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特開昭57-059665
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特開昭57-059665
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特開昭62-054431
-
特開昭62-054431
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特開昭63-315576
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特開昭63-315576
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特開平1-291092
-
特開平1-291092
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昇華物対策付き熱処理装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-317119
出願人:タバイエスペック株式会社
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加熱装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-350074
出願人:京セラ株式会社
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環境装置の送風装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-044672
出願人:タバイエスペック株式会社
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排気型バッチ式オーブン
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-181711
出願人:光洋サーモシステム株式会社
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銅の縦型溶解炉における排ガス処理システム
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-014415
出願人:神鋼メックス株式会社, 株式会社神戸製鋼所
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平面ガラス基板用連続式焼成炉
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-043266
出願人:中外炉工業株式会社
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熱風発生装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-058044
出願人:日本碍子株式会社
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熱風循環炉
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-126970
出願人:株式会社村田製作所
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プラズマディスプレイパネルの製造方法及び熱処理装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-373379
出願人:パイオニア株式会社, パイオニア・ディスプレイ・プロダクツ株式会社
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排出ガス処理ユニット付き連続焼成炉
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-109414
出願人:光洋サーモシステム株式会社
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熱処理炉
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-203712
出願人:日本碍子株式会社
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熱処理装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-194242
出願人:エスペック株式会社
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