特許
J-GLOBAL ID：200903004798094557

固体撮像装置およびその製造方法

発明者：
山下 浩史

山下 浩史 について


出願人/特許権者：
株式会社東芝

株式会社東芝 について


代理人 (22件)： 鈴江 武彦 ,  蔵田 昌俊 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  福原 淑弘 ,  峰 隆司 ,  白根 俊郎 ,  村松 貞男 ,  野河 信久 ,  幸長 保次郎 ,  河野 直樹 ,  砂川 克 ,  勝村 紘 ,  橋本 良郎 ,  風間 鉄也 ,  河井 将次 ,  佐藤 立志 ,  岡田 貴志 ,  堀内 美保子 ,  竹内 将訓 ,  市原 卓三 ,  山下 元
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-048412
公開番号（公開出願番号）：特開2009-206356
出願日： 2008年02月28日
公開日（公表日）： 2009年09月10日
要約：
【課題】 隣接画素間でのクロストークを防止して、混色の発生を防止でき、再生画面上での色再現性の向上に対して有利な固体撮像装置およびその製造方法を提供する。【解決手段】 固体撮像装置は、半導体基板404に、光電変換部及び信号走査回路部を含み単位画素行列を配置して成る撮像領域と、前記信号走査回路部を駆動するための素子駆動回路を配置して成る駆動回路領域とを具備し、前記光電変換部は、前記信号走査回路部が形成される前記半導体基板表面と反対側の半導体基板の裏面側に設けられ、前記単位画素1は、隣接する前記単位画素との境界部分を囲むように設けられ素子分離領域を区画する絶縁膜408を備える。【選択図】 図6
請求項（抜粋）：
半導体基板に、光電変換部及び信号走査回路部を含み単位画素行列を配置して成る撮像領域と、前記信号走査回路部を駆動するための素子駆動回路を配置して成る駆動回路領域とを具備し、 前記光電変換部は、前記信号走査回路部が形成される前記半導体基板表面と反対側の半導体基板の裏面側に設けられ、 前記単位画素は、隣接する前記単位画素との境界部分を囲むように設けられ素子分離領域を区画する絶縁膜を備えること を特徴とする固体撮像装置。
IPC (2件)：
H01L 27/146 ,  H01L 31/10
FI (2件)：
H01L27/14 A ,  H01L31/10 A
Fターム (27件)：
4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA14 ,  4M118CA03 ,  4M118DD04 ,  4M118DD12 ,  4M118EA01 ,  4M118EA16 ,  4M118FA06 ,  4M118FA27 ,  4M118FA28 ,  4M118FA33 ,  4M118GA02 ,  4M118GA09 ,  4M118GC08 ,  4M118GC14 ,  4M118GD04 ,  4M118GD15 ,  5F049MA02 ,  5F049NA20 ,  5F049NB05 ,  5F049QA20 ,  5F049SS03 ,  5F049SZ01 ,  5F049TA12 ,  5F049TA13 ,  5F049UA13
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (10件)
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