特許
J-GLOBAL ID：200903004976008228
マルチプローブ及び走査型プローブ顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-070925
公開番号（公開出願番号）：特開2000-266658
出願日： 1999年03月16日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
要約：
【要約】【課題】 カンチレバーの切替が簡単なマルチプローブ及び走査型プローブ顕微鏡を提供すること。【解決手段】 本体2上に複数のカンチレバー3、4、5を設け、カンチレバー3、4、5の各共振周波数f3、f4、f5を相互に異ならせると共に、カンチレバー3、4、5の各試料接触部分である探針D3、D4、D5を直線Lに沿って略直線状配置とした。加振振動周波数をいずれかの共振周波数に一致させることにより、所要のカンチレバーのみを測定に寄与させることができる。
請求項（抜粋）：
同一本体上に複数のカンチレバーを設けて成り走査型プローブ顕微鏡の走査プローブとして用いられるマルチプローブにおいて、前記複数のカンチレバーの各共振周波数を相互に異ならせると共に、前記複数のカンチレバーの各試料接触部分が略直線状配置となっていることを特徴とするマルチプローブ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 G
, G01B 21/30 Z
2F069AA54
, 2F069AA57
, 2F069AA60
, 2F069DD01
, 2F069DD08
, 2F069DD25
, 2F069GG01
, 2F069GG06
, 2F069GG35
, 2F069GG56
, 2F069GG60
, 2F069GG65
, 2F069HH04
, 2F069JJ04
, 2F069JJ25
, 2F069LL03
, 2F069MM04
, 2F069MM11
, 2F069MM23
, 2F069MM32
