透明電極及び透明電極の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-048682
公開番号（公開出願番号）：特開2006-236747
出願日： 2005年02月24日
公開日（公表日）： 2006年09月07日
要約：

【課題】本発明の目的は、エッチング性に優れ、低抵抗値、高い透過率、良好な表面平滑性を併せ持つ透明電極及び透明電極の製造方法を提供することである。【解決手段】透明基材上に透明高屈折率層と金属粒子とを交互に積層し、総膜厚が30nm以上、100nm以下であって、かつ表面抵抗値が1Ω/□以上、13Ω/□以下であることを特徴とする透明電極。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

透明基材上に透明高屈折率層と金属粒子とを交互に積層し、総膜厚が30nm以上、100nm以下であって、かつ表面抵抗値が1Ω/□以上、13Ω/□以下であることを特徴とする透明電極。

IPC (6件)：

H01B 5/14 , C23C 16/40 , H01B 13/00 , H01L 21/28 , H01L 21/285 , H01L 21/288

FI (6件)：

H01B5/14 A , C23C16/40 , H01B13/00 503B , H01L21/28 301R , H01L21/285 C , H01L21/288 Z

Fターム (46件)：

4K030AA09 , 4K030AA11 , 4K030AA16 , 4K030AA17 , 4K030BA11 , 4K030BA42 , 4K030BA45 , 4K030BA46 , 4K030BA47 , 4K030BB12 , 4K030CA07 , 4K030CA17 , 4K030FA03 , 4K030HA02 , 4K030JA06 , 4K030LA01 , 4K030LA18 , 4M104BB02 , 4M104BB04 , 4M104BB06 , 4M104BB08 , 4M104BB09 , 4M104BB36 , 4M104DD43 , 4M104DD51 , 4M104FF13 , 4M104HH16 , 5G301CA02 , 5G301CA08 , 5G301CA12 , 5G301CA15 , 5G301CA23 , 5G301CA25 , 5G301CA27 , 5G301CD03 , 5G301CE10 , 5G307FA01 , 5G307FB01 , 5G307FB02 , 5G307FC03 , 5G307FC09 , 5G307FC10 , 5G323BA02 , 5G323BA05 , 5G323BB03 , 5G323BB06

引用特許：

出願人引用 (5件)

透明電極
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-308507 出願人：三井化学株式会社
透明電極
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-111638 出願人：三井化学株式会社
有機EL素子
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-364851 出願人：株式会社アルバック

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審査官引用 (5件)

透明導電膜、および透明電極の形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-194446 出願人：旭硝子株式会社
透明導電膜付き基体とその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-359781 出願人：旭硝子株式会社
積層膜の形成方法及び積層膜
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-146891 出願人：株式会社ブリヂストン

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