特許
J-GLOBAL ID：200903006076252738
異物検査装置及び異物検査方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
影井 俊次
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-355603
公開番号（公開出願番号）：特開2007-163137
出願日： 2005年12月09日
公開日（公表日）： 2007年06月28日
要約：
【課題】被検査体に異物があるか否か、及び異物がある場合にはどの位置に異物があるかを判定する。【解決手段】透明性の基板81の表面81Sに遮光膜82が形成されている被検査体80の斜め上方から遮光膜82の表面82Sに第1の光源11から第1の検査光FL1を入射させて、その反射光を第1の光検出器21が受光する。また、被検査体80の斜め下方から遮光膜82の裏面82Rに第2の光源12から第2の検査光FL2を入射させて、その反射光を第2の光検出器22が受光する。第1の光検出器21と第2の光検出器22とに散乱光が受光されるか否かの組み合わせにより、被検査体80に異物FSが付着しているか否か、及び付着している場合にはどの位置に付着しているかを判定する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
透明性の基板の表面に遮光膜が形成された被検査体の前記遮光膜の表面側から当該遮光膜の表面に向かって光を照射する第1の光源と、前記遮光膜で反射した散乱光を受光できる位置に設けられる第1の散乱光検出手段と、前記基板の裏面側から前記遮光膜の裏面に向かって光を照射する第2の光源と、前記遮光膜の裏面で反射した散乱光を受光できる位置に設けられる第2の散乱光検出手段と、
前記第1の散乱光検出手段が散乱光を受光し、前記第2の散乱光検出手段が散乱光を受光していない場合は、前記遮光膜の表面に異物が付着していると判定し、前記第1の散乱光検出手段及び前記第2の散乱光検出手段が散乱光を受光した場合は、前記基板と前記遮光膜と間に異物が付着していると判定する判定装置と、を有することを特徴とする異物検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N21/956 A
, G01B11/30 A
2F065AA49
, 2F065BB02
, 2F065DD04
, 2F065FF41
, 2F065GG02
, 2F065GG04
, 2F065GG07
, 2F065HH04
, 2F065JJ03
, 2F065JJ05
, 2F065JJ26
, 2F065LL04
, 2F065MM03
, 2F065PP12
, 2F065RR07
, 2F065UU02
, 2G051AA42
, 2G051AA56
, 2G051AB01
, 2G051BA01
, 2G051BB01
, 2G051CA01
, 2G051CA07
, 2G051CB02
, 2G051CB05
, 2G051DA07
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (9件)
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