特許
J-GLOBAL ID:200903006087199731
高反射鏡
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-186227
公開番号(公開出願番号):特開2006-010930
出願日: 2004年06月24日
公開日(公表日): 2006年01月12日
要約:
【課題】可視光域で高い反射率を有し、耐湿性や耐塩水性等の耐久性に優れ、かつ入射角依存性が小さい(光の入射角によって反射率が変動しにくい)高反射鏡の提供。【解決手段】基板上に、銀膜、低屈折率膜、高屈折率膜がこの順で積層された高反射鏡であって、前記銀膜の基板と反対側には密着改善膜が形成され、前記低屈折率膜の消衰係数が0.01以下であり、前記高屈折率膜の消衰係数が0.01以下であり、前記密着改善膜が酸化物膜であり、かつ前記密着改善膜の消衰係数が0.1以下であることを特徴とする高反射鏡。【選択図】図1
請求項(抜粋):
基板上に、銀膜、低屈折率膜、高屈折率膜がこの順で積層された高反射鏡であって、前記銀膜の基板と反対側には密着改善膜が形成され、前記低屈折率膜の消衰係数が0.01以下であり、前記高屈折率膜の消衰係数が0.01以下であり、前記密着改善膜が酸化物膜であり、かつ前記密着改善膜の消衰係数が0.1以下であることを特徴とする高反射鏡。
IPC (6件):
G02B 5/08
, C03C 17/36
, G02B 5/26
, G02B 5/28
, G02F 1/133
, G03B 21/14
FI (7件):
G02B5/08 A
, C03C17/36
, G02B5/26
, G02B5/28
, G02F1/1335 520
, G02F1/13357
, G03B21/14 A
Fターム (46件):
2H042DA08
, 2H042DA11
, 2H042DA12
, 2H042DB06
, 2H042DC02
, 2H042DE04
, 2H048FA03
, 2H048FA15
, 2H048FA24
, 2H048GA36
, 2H048GA60
, 2H048GA61
, 2H091FA14Z
, 2H091FA41Z
, 2H091FB06
, 2H091FB08
, 2H091FC01
, 2H091FC02
, 2H091FD02
, 2H091FD06
, 2H091FD13
, 2H091FD22
, 2H091KA10
, 2H091LA06
, 2H091LA18
, 2H091LA30
, 2H091MA07
, 2K103AB04
, 2K103BA08
, 2K103BC05
, 2K103CA26
, 2K103CA75
, 2K103CA76
, 4G059AA01
, 4G059AA08
, 4G059AB11
, 4G059AC05
, 4G059DA01
, 4G059EA01
, 4G059EA02
, 4G059EA03
, 4G059EA05
, 4G059EB04
, 4G059GA02
, 4G059GA04
, 4G059GA14
引用特許:
出願人引用 (6件)
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高反射ミラー
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-187510
出願人:キヤノン株式会社
-
平面表示装置用Ag合金系反射膜
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-024453
出願人:日立金属株式会社
-
反射鏡
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-291413
出願人:富士写真光機株式会社
-
反射鏡及び反射鏡の製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-251369
出願人:株式会社ニコン
-
反射鏡
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-044240
出願人:株式会社ニコン
-
反射鏡
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-253747
出願人:株式会社ニコン
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審査官引用 (11件)
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