特許
J-GLOBAL ID：200903006159038460
磁界検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
深見 久郎
, 森田 俊雄
, 仲村 義平
, 堀井 豊
, 野田 久登
, 酒井 將行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-089104
公開番号（公開出願番号）：特開2006-269955
出願日： 2005年03月25日
公開日（公表日）： 2006年10月05日
要約：
【課題】 スピンバルブ型磁気抵抗効果素子を用いた磁界検出器において、印加磁界強度および温度に依存する角度検出誤差を抑制する。【解決手段】 磁気抵抗効果素子は、反強磁性層(8)と、その磁化方向が固定的に設定される固着層(9A)と、印加磁界(Hap)によりその磁化方向が変化する自由層(12)を含む。固着層(9A)は、反強磁性層(8)と交換結合してその磁化方向が固定される第1の強磁性層(9a)と、非磁性層(10)を介して第1の強磁性層と反平行結合する第2の強磁性層(9b)を含む。この磁界検出装置は、さらに、自由層(12)の異方性磁界以上の磁界を自由層膜面方向に印加する磁界印加機構を備える。【選択図】 図8
請求項（抜粋）：
磁化方向が固定的に定められる磁化固定層と、外部印加磁界により磁化方向が変化する自由層と、前記自由層と前記磁化固定層との間に形成されるトンネル絶縁層とを備える磁気抵抗効果素子を備え、前記磁化固定層は、反強磁性層、ならびに前記反強磁性層と接して積層されかつ第1および第2の強磁性層と前記第1および第2の強磁性層の間に配置される非磁性層とを備える積層構造の固着層を有し、前記第1の強磁性層の磁化が前記反強磁性層により固定され、かつ前記第1および第2の強磁性層の磁化が前記非磁性層を介し、反平行に結合され、および
前記磁気抵抗効果素子に磁界を印加する磁界印加機構を備え、前記磁界印加機構は磁界検出動作時、前記自由層の膜面に平行に前記自由層の異方性磁界以上の磁界を印加する、磁界検出装置。
IPC (5件)：
H01L 43/08
, G11B 5/39
, G01R 33/09
, H01L 27/105
, H01L 21/824
H01L43/08 Z
, H01L43/08 A
, G11B5/39
, G01R33/06 R
, H01L27/10 447
2G017AA02
, 2G017AA03
, 2G017AB05
, 2G017AB07
, 2G017AC04
, 2G017AD55
, 2G017BA09
, 5D034BA04
, 5D034BA15
, 5D034BA19
, 5F083FZ10
, 5F083GA11
, 5F083JA37
, 5F083PR04
出願人引用 (3件)
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特許第2786601号公報
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特許第2111693号公報
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外部磁界を検出するためのセンサ装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平9-137924
出願人：シーメンスアクチエンゲゼルシヤフト
審査官引用 (9件)
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